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Swagelok DH Series Thermal-Immersion Diaphragm Valves

Swagelok® Thermal-Immersion Diaphragm Valves (DH Series)

Swagelok DH series thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance in high-temperature processes.

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Swagelok® Membranventile der Serie DH zur Wärmeimmersion sind für Anwendungen konzipiert, in denen das Ventil vollständig in einer hochreinen Umgebung bei hohen Temperaturen arbeiten muss, wie z. B. bei der Atomlagenabscheidung (ALD) und entsprechend vorgelagerten Prozessen. Diese Ventile sind mit einem vollständig geschlossenen PFA-Sitz für den Einsatz unter hochreinen Bedingungen versehen, der mit einer Vielzahl von Chemikalien kompatibel ist und eine hervorragende Beständigkeit gegen Aufquellung und Verunreinigung bietet. Der Fließweg ohne Totzonen und Einschlussbereiche im Ventilkörper sorgt für maximale Durchflusskapazität.

Mit Durchflusskoeffizienten von bis zu 0,6, einer großen Auswahl an 1/4"- und 3/8"-Endanschlüssen sowie pneumatischer und manueller Betätigung werden unsere Ventile den unterschiedlichsten Systemanforderungen gerecht. Der in Ruhestellung geschlossene Stellantrieb ermöglicht Öffnungs- und Schließzeiten von weniger als 5 ms, und das Ventil ist auf eine optimale Leistung bei 220 °C (428 °F) ausgelegt.

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