text.skipToContent text.skipToNavigation
Swagelok DH Series Thermal-Immersion Diaphragm Valves

Swagelok® Thermal-Immersion Diaphragm Valves (DH Series)

Swagelok DH series thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance in high-temperature processes.

Request More Information

Swagelok® DH series thermal-immersion diaphragm valves are designed for applications where the valve needs to be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment such as atomic layer deposition (ALD) and precursor delivery applications. These valves have a fully contained high-purity PFA seat that provides compatibility with a broad range of chemicals and excellent resistance to swelling and contamination. The fully swept flow path in the body minimizes entrapment areas and maximizes flow capacity.

Flow coefficients up to 0.60, a variety of 1/4 and 3/8 in. end connections, and pneumatically and manually actuated models are available to meet a wide range of system needs. The “normally closed” is actuator capable of a valve opening or closing time of less than 5 ms, and the valve is designed for optimal performance at 220°C (428°F).

Want to know more about DH series thermal-immersion valves?

Ask a Specialist

Thermal-Immersion Diaphragm Valves Catalogs

Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.

Swagelok flow coefficient (C<sub>v</sub>) calculator for valves

Calculate Flow Rate for the Right Valve Selection

Use our valve flow coefficient (Cv) calculator to chose a valve sized correctly for your needs.

Use the Tool

Ресурсы Swagelok специально для вас

Выбор клапанов для жидкостных и газовых систем
Как правильно подобрать ЗРА для вашей промышленной системы

Узнайте, как на практике применять метод STAMPED для подбора ЗРА, лучше всего соответствующей областям применения вашей жидкостной/газовой или пробоотборной системы.

Карл Уайт (Carl White), обладающий почти 40-летним опытом работы на различных предприятиях, относящихся к цепи поставок в сфере производства полупроводников, рассказывает о прошлом, настоящем и будущем этой отрасли.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра

Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.

Компоненты жидкостных и газовых систем Swagelok изготавливаются из материалов, предназначенных для длительной эффективной работы в условиях производства полупроводников.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов

Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.

Cleanroom assembly of a Swagelok ALD20 UHP valve for semiconductor industry use
One New Valve. Three Reasons It Could Change Semiconductor Manufacturing

Find out how the latest innovation in atomic layer deposition (ALD) valve technology is changing the game for high-tech semiconductor manufacturers.

Этот процесс может занять несколько минут. Дождитесь его завершения и не покидайте страницу.