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ダイヤフラム・バルブ

Swagelok®ダイヤフラム・バルブ

Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのシステム要件に適合します。

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Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのニーズに適合します。流量係数(Cv値)は0.20~13です。流路から障害物を一掃したデザインおよび耐食性に優れた構造を採用しているため、清浄度が重要なアプリケーションに適しています。アクチュエーターは手動式、空気式、ロッキング・ハンドルから選ぶことができます。

ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着(ALD)用、大流量用、集積化ガス・システム用、サーマル・イマージョン用やフルオロポリマー製があり、超高純度のさまざまなアプリケーションに適しています。

  • Swagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ( 集積化ガス・システム 用)は取り付けが容易で、流れの方向を一目で確認することができます。熱安定性を向上させるシート設計を採用しています。
  • Swagelokダイヤフラム・バルブ(バルク・ガス供給用)は、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなアプリケーションに対応することができます。
  • Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、高温/高純度環境において完全に封止することができるため、原子層蒸着(ALD) やプリカーサー供給アプリケーションに適しています。
  • Swagelok超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。

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