
Swagelok®ダイヤフラム・バルブ
Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのシステム要件に適合します。
ダイヤフラム・バルブを見るSwagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのニーズに適合します。流量係数(Cv値)は0.20~13です。流路から障害物を一掃したデザインおよび耐食性に優れた構造を採用しているため、清浄度が重要なアプリケーションに適しています。アクチュエーターは手動式、空気式、ロッキング・ハンドルから選ぶことができます。
ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着(ALD)用、大流量用、集積化ガス・システム用、サーマル・イマージョン用やフルオロポリマー製があり、超高純度のさまざまなアプリケーションに適しています。
- Swagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ( 集積化ガス・システム 用)は取り付けが容易で、流れの方向を一目で確認することができます。熱安定性を向上させるシート設計を採用しています。
- Swagelokダイヤフラム・バルブ(バルク・ガス供給用)は、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなアプリケーションに対応することができます。
- Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、高温/高純度環境において完全に封止することができるため、原子層蒸着(ALD) やプリカーサー供給アプリケーションに適しています。
- Swagelok超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。
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UHP 개폐용 다이어프램 밸브, DP 시리즈
직선형 패턴 및 수동 작동, 통합형 액추에이터가 있는 멀티포트 및 모듈 조립형(MSM)의 초고순도 차단 다이어프램 밸브를 알아보십시오.

UHP 대유량 다이어프램 밸브, DF 시리즈
스프링 없는 대유량 다이어프램 밸브로 사이클 수명을 늘려보십시오. 스프링이나 나사가 없으므로 청정도가 개선되며, 유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 퍼지 성능이 강화됩니다.

UHP 플루오르수지 다이어프램 밸브, DRP 시리즈
유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 응력과 유체 오염을 최소화하여 UHP 케미컬 시스템에서 최적의 성능과 긴 수명을 보장할 수 있습니다.

고순도 고압 다이어프램 밸브, DL 및 DS 시리즈
완전 밀폐 소프트시트 스템 팁, 표준 하단, 판넬 마운팅으로 반복적 차단이 가능한 고순도, 고압 다이어프램 밸브를 알아보십시오.

고온(Thermal-Immersion) 다이어프램 밸브, DH 시리즈
고온 봉입(Thermal-immersion) 다이어프램 밸브는 원자층 증착(ALD) 및 프리커서 공급 애플리케이션과 같은 고온 프로세스에 사용됩니다.

모듈형 가스 시스템용 스프링 없는 다이어프램 밸브, 1.125인치, DE 시리즈
스프링 없는 구조의 신뢰성 높고 강화된 제어 밸브는 모듈형 가스 시스템에서 효율적으로 작동하는 데 적합합니다.

벌크 가스 다이어프램 밸브, LD 시리즈
대유량 애플리케이션 벌크 가스 분배 다이어프램은 초고순도 차단, 벌크 가스 분배, 차단 애플리케이션 요구 조건을 충족하도록 설계되었습니다.
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
DRP 시리즈 공기작동식 및 1/4 회전 수동식 2-방향 및 3-방향 모델; 공기 작동식 및 유량 조절과 바이패스가 가능한 수동식 모델 유체가 접촉되는 부위는 DuPont® Teflon® 개선된 PTFE 및 폴리프로필렌 개폐기 초고순도 시스템 부품에 적용되는 SEMI 표준 F57-0301 준수 확관형 및 Nippon Pillar® Super 300 연결구가 기본형; Flowell, space saver 및 기타 연결구 제공 가능 주문자 요청에 의한 매니폴드 및 부분 조립품 제공 가능
DL 및 DS 시리즈 패킹이 없는 금속 밀폐구조 용 압력 범위: 진공 ~ 3500 psig (241 bar) 온도 범위: –73 ~ 121°C (–100 ~ 250°F)
DP 시리즈 초고순도 사양에 적합 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체 저압용 및 고압용 모델 VCR®, 튜브 맞대기 용점 및 블럭 조립식 연결구 수동식 또는 공기작동식 개폐기
LD 시리즈 최대 사용 압력 300 psig (20.6 bar) 일반 차단 기능, 벌크 가스 분배 및 차단 서비스 주조, 단조 및 바 스톡 스텐레스강 몸체 재질 1/4 ~ 1 in. 및 12 ~ 25 mm 연결구
DF 시리즈 316L VAR 스텐레스강 몸체; 최대 사용 압력: 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8 및 1/2 in. 그리고 10 및 12 mm 연결구

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다이어프램 밸브
당사 다이어프램 밸브의 유량 계수는 0.20 ~ 13이며 사용 압력은 최대 3500psig(241bar)로 고순도 및 초고순도(UHP) 애플리케이션의 요구를 충족하는 다양한 크기, 재질 및 구성으로 설계되었습니다.
다이어프램 밸브는 시스템을 위한 효과적인 차단을 제공하며 긴 수명을 가집니다. 스웨즈락’다이어프램 밸브에는 원자층 증착(ALD), 대유량을 위한 스프링리스, 고성능 및 모듈 조립식 가스 시스템, 고온용, 초고순도 불소수지 등이 포함됩니다. 수동, 공압 및 잠금 기능의 개폐기 옵션이 있습니다.