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超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ 技術情報 概要
この情報は、DRPシリーズ・バルブに対し、第三者機関とスウェージロックが行ったテストの要約です。DRPバルブは主に、製品の純度と信頼性が非常に重要である半導体業界において、重要な液体管理を行うために使用することを主たる目的として設計されています。この情報に記載されている報告データとテスト・プロトコルは、SEMI F57-0301 に基づいています。この情報は、以下の項目について記述しています。■ パーティクル発生/■ 表面粗さ/■ イオン性コンタミネーション/■ 金属性コンタミネーション/■ 総有機性炭素(TOC)量/■ 超純水、HCl、スラリーを用いた信頼性テスト
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ダイヤフラム・バルブ DLシリーズ DSシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelokダイヤフラム・バルブ DL/DSシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ/■ パーティクル・カウント/■ 水分分析/■ 炭化水素分析/■ 残留イオン濃度
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ダイヤフラム・バルブ DPシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelokダイヤフラム・バルブ DPシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ/■ インボード・ヘリウム・リーク・テスト/(真空法)/■ パーティクル・カウント/■ 水分分析/■ 炭化水素分析/■ 残留イオン濃度/■ 実験室でのサイクル・テスト
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ダイヤフラム・バルブ DFシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelokダイヤフラム・バルブ DFシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ/■ パーティクル・カウント/■ 水分分析/■ 炭化水素分析/■ 残留イオン濃度/■ 実験室でのサイクル・テスト
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エクセス・フロー・バルブ XSシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelok一般産業用エクセス・フロー・バルブ XSシリーズ用の以下のスプリングの選定および注文方法について記載しています。■ 標準スプリング/■ 中流量用スプリング(オプション)/■ 低流量用スプリング(オプション)
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ベローズ・シール・バルブ BNシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelokベローズ・シール・バルブ BNシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ/■ パーティクル・カウント/■ 水分分析/■ 炭化水素分析/■ 残留イオン濃度/■ 実験室でのサイクル・テスト
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ベローズ・シール・バルブ HBシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelokベローズ・シール・バルブ HBシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ/■ パーティクル・カウント/■ 水分分析/■ 炭化水素分析/■ 残留イオン濃度/■ 実験室でのサイクル・テスト
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ALD6 ダイヤフラム・バルブ 技術情報
この技術情報は、ノーマル・クローズ型Swagelok ALD6 ダイヤフラム・バルブに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ シート部のヘリウム・リーク・テスト/■ バルブ流量一貫性分析/■ 実験室でのサイクル・テスト/■ アクチュエーターの断熱およびバルブの熱反応性/■ パーティクル・カウント/■ 残留イオン濃度/■ 表面仕上げ/■ 水分分析/■ 炭化水素分析/■ バルブ作動の応答性に関して
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プリセット型レギュレーター HFシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelokレギュレーター HFシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ/■ パーティクル・カウント/■ 水分分析/■ 炭化水素分析/■ 残留イオン濃度/■ 実験室でのサイクル・テスト
