Vannes à membrane très haute pureté Swagelok® pour le procédé de dépôt par couche atomique (série ALD7)
La vanne très haute pureté ALD7 Swagelok possède toutes les caractéristiques – débit élevé et régulier, rapidité d’actionnement, température nominale élevée et grande propreté – nécessaires pour maximiser la production de puces avec des outils de fabrication de semi-conducteurs nouveaux ou existants.
Demander des informations sur les vannes ALD7Conçue pour le procédé de dépôt par couche atomique (ALD), la vanne à membrane très haute pureté ALD7 de Swagelok® permet aux fabricants d’outils destinés au secteur des semi-conducteurs et aux fabricants de puces d’augmenter le nombre de puces viables produites et d’accroître leur rentabilité grâce à son débit élevé et régulier, à son actionnement rapide et à son efficacité à haute température, autant de caractéristiques nécessaires pour dépasser les limites des procédés de fabrication actuels. En plus de sa durée de vie très longue, elle offre des performances constantes d’une vanne à l’autre, d’un dosage à l’autre et d’une chambre de réaction à l’autre.
La vanne ALD7 Swagelok :
- Permet un dosage précis sur des millions de cycles, même dans les applications les plus exigeantes et dispose d’un actionneur sophistiqué dont le temps de réponse peut descendre jusqu’à 5 ms
- Résiste aux gaz corrosifs grâce à l’acier inoxydable 316L VIM-VAR exclusif utilisé par Swagelok pour fabriquer le corps de la vanne
- Peut être chauffée jusqu’à 200°C tout en maintenant l’actionneur pneumatique en dessous de sa température maximale de fonctionnement de 150°C
- A un coefficient de débit (Cv) pouvant aller jusqu’à 0,7 [des modèles spécifiques (réglés en usine) sont également proposés avec un Cv de 0,5 à 0,7]
- Conserve le même encombrement que les vannes ALD standard Swagelok et possède un isolant thermique intégré qui permet de maximiser l’utilisation de l’espace à proximité de la chambre de réaction
Découvrir en détail les vannes ALD7
Caractéristiques techniques des vannes ALD7
| Pression de service | Du vide à 10,0 bar (145 psig) |
| Pression d’éclatement | > 220 bar (3200 psig) |
| Pression d’actionnement | 4,1 à 8,27 bar (60 à 120 psig) |
| Température nominale | Corps de vanne standard : de 0°C (32°F) à 200°C (392°F) |
| Coefficient de débit | Standard : Cv de 0,7 (réglé en usine) |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable 316L VIM-VAR |
| Matériau de la membrane | Superalliage à base de cobalt |
| Raccordements d’extrémité | Type : Raccords VCR®, tubes à souder bout à bout, joint en C haut débit pour montage modulaire en surface 1,5 po |
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ALD7シリーズ・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
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