Swagelok^® 超高純度用ダイヤフラム･バルブ（ALD7シリーズ）

画期的とも言える一貫したパフォーマンス

超高純度用Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズは、50年以上にわたり半導体装置メーカーやツール製造業者をサポートしてきたスウェージロックのALD（原子層蒸着）バルブ技術を結集した最新のイノベーションです。この高性能半導体用バルブを使用することで、ツール製造業者や半導体装置メーカーは、現在の生産工程の限界を克服するために必要な流量の一貫性、大流量、アクチュエーター速度、高温性能を実現することで、チップの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。

妥協なき精度を目指して

ALD7シリーズは、レスポンス・タイムが向上し、高温下での熱安定性、耐食性が強化されています。非常に優れたサイクル・ライフで、バルブ間、プリカーサーの供給間、チャンバー間で一貫したパフォーマンスを発揮します。

• ALD7シリーズは、非常に過酷なALDアプリケーションにおいても、数百万回のサイクルで正確なプリカーサー供給を実現します。
• アクチュエーター技術を進化させた結果、この半導体用バルブは業界標準よりも高速で作動し、レスポンス・タイムは最速で5 msです。
• アクチュエーター部は最高使用温度150°Cに対応し、バルブは最高200°Cまで使用でき、高温や真空状態でも一貫した流量を実現します。
• ALD7シリーズ・バルブのボディ材質には、スウェージロック独自の超高純度用 316L VIM-VARステンレス鋼を採用することで、腐食性ガスへの耐性を高めています。

より高いパフォーマンス。最低限の手直し。

ALD7シリーズでは、既存の半導体用バルブに比べて流量が向上していますが、フットプリントは変わりません。コンパクトなデザインのため、半導体メーカーは大幅なプロセス変更を行わなくても従来装置の生産性を引き上げることが可能です。

• ALD7シリーズは、大流量に対応［最大流量係数（C_v値）：0.7]するため、チャンバー間で正確なプリカーサー供給を繰り返し行うことができます。カスタム（工場設定）バージョン（オプション）の場合、流量係数は0.5～0.7 C_vです。
• ALD7シリーズのフットプリントは、スウェージロックの業界標準ALDバルブと同じ1.5 インチです。
• 断熱機能を内蔵したことでバルブの外形が小さくなるため、システムを設計する際は、反応チャンバー近くの限られたスペースを最大限に活用することができます。

仕様