
Swagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ、原子層プロセス用(ALD7シリーズ)
Swagelok超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズは、新規または既存の半導体製造装置のスループットを最大化するのに必要な一貫した流量、開閉スピード、使用温度範囲、クレンリネス(清浄度)を備えています。
ALD7シリーズ・バルブについて問い合わせる原子層蒸着(ALD)向けのSwagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズを使用すると、半導体製造装置メーカー やデバイス・メーカーは、製造工程の限界を克服するのに必要な一貫した流量、大流量、開閉スピード、高温性能を実現し、デバイスの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。非常に優れたサイクル・ライフで、バルブ間、プリカーサーの供給間、チャンバー間で一貫したパフォーマンスを発揮します。
ALD7シリーズ・バルブの特徴:
- 非常に過酷なアプリケーションにおいても、数百万サイクルにわたる迅速かつ正確な供給を実現し、応答時間が最速で5msと優れたアクチュエーター・テクノロジーを採用
- バルブ・ボディ材質は、スウェージロック独自の超高純度用316L VIM-VARステンレス鋼で、腐食性ガスに対する耐性に優れる
- アクチュエーター部は最高使用温度150°Cに対応し、バルブは最高200°Cまで使用可能
- 最大0.7の流量係数(Cv値)を実現[カスタム(工場設定)バージョン(オプション)の場合、流量係数は0.5~0.7 Cv]
- スウェージロックの業界標準ALDバルブと同じフットプリントながら、断熱機能を内蔵したことで反応チャンバー近くの限られたスペースを最大限に活用することが可能
仕様
使用圧力範囲 | 真空~1.0 MPa |
破裂時 | >22.0 MPa |
操作時 | 0.41~0.83 MPa |
使用温度範囲 | 標準のバルブ・ボディ:0~200°C |
流量係数(Cv値) | 0.7(標準、工場設定) |
ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
エンド・コネクション・タイプ | VCR®面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル大流量用Cシール(1.5 インチ) |
ALDバルブに関して質問がありますか?
ALD7シリーズ・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能/■ 流量係数(Cv 値):0.27 から1.7 まで/■ 最高使用温度:200°C(ALD20 の場合)/■ オプション:電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど/■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ/■ エンド・コネクション・タイプ:集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手

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