Swagelok® Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves for Atomic Layer Processing (ALD7 Series)
The Swagelok ALD7 ultrahigh-purity valve provides the flow consistency and capacity, actuator speed, temperature rating, and cleanliness necessary to help maximize chip throughput in new or existing semiconductor manufacturing tools.
Request ALD7 Valve InformationDas ultrahochreine Swagelok® Membranventil ALD7 für die Atomlagenabscheidung (ALD) ermöglicht es Herstellern von Halbleiter-Fertigungsanlagen sowie Chipherstellern, die Chipausbeute zu erhöhen und die Rentabilität zu steigern. Für höchste Prozessanforderungen konzipiert, überzeugt das ALD 7-Ventil durch optimales Durchflussverhalten und eine optimale Durchflusskapazität, eine hohe Betätigungsgeschwindigkeit sowie Leistungsstärke in hohen Temperaturbereichen. Das ALD 7-Ventil bietet eine konstant hohe Leistung von Ventil zu Ventil, Dosis zu Dosis und Kammer zu Kammer bei maximaler Lebensdauer.
Vorteile des ALD 7-Ventils von Swagelok:
- Schnelle und präzise Dosierung über Millionen von Produktionszyklen auch in anspruchsvollsten Anwendungen und verbesserte Stellantriebstechnologie mit einer Ansprechzeit von nur 5 ms
- Beständigkeit gegen korrosive Gase dank Swagelok-Ventilkörper aus Edelstahl 316L VIM-VAR für ultrahochreine Anwendungen
- Aufheizbar bis 200 °C, solange der pneumatische Antrieb unter der maximalen Betriebstemperatur von 150 °C bleibt
- Bietet einen Durchflusskoeffizient (Cv) von bis zu 0,7; optional sind kundenspezifische Ausführungen (werkseitig eingestellt) mit Durchflusskoeffizienten von 0,5 bis 0,7 Cv erhältlich
- Gleicher Platzbedarf wie ALD-Ventile nach Industriestandard von Swagelok und integrierter Wärmeisolator zur maximalen Ausnutzung des begrenzten Platzes nahe der Reaktionskammer
ALD7-Ventile – Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3.200 psig) |
| Betätigungsdruck | 4,1 bis 8,27 bar (60 bis 120 psig) |
| Auslegungstemperatur | Standardventilkörper von 0 °C (32 °F) bis 200 °C (392 °F) |
| Durchflusskoeffizient | Standardmäßig 0,7 Cv (werkseitig) |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Superlegierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | Typ: VCR®-Verbindungen, 1,5 Zoll, Stumpfschweißfitting, modulare Konfiguration mit C-Dichtung für hohe Durchflusskapazitäten |
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Catálogos de Válvulas Series ALD7
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