text.skipToContent text.skipToNavigation

Swagelok^®超高純度用ダイヤフラム・バルブ（ALD3／ALD6シリーズ）

Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD（原子層蒸着）半導体製造に必要なプリカーサーの投与制御を行います。

超高純度用バルブ ALD3／ALD6シリーズは、プロセス・チャンバー内での成膜プロセスのため、信頼性の高い高速でプリカーサー・ガスの投与をを高い信頼性で行うことが出来ます。ALD3／ALD6シリーズ・バルブの特徴：

サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
流量係数（Cv値）：0.27～0.62、その他の流量係数（Cv値）設定も可能
最高200°Cまでの高温環境に対応（高温モデルのアクチュエーターの場合）
超高純度アプリケーションに適した316L VIM-VARステンレス鋼を標準としたバルブ・ボディ
集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、Swagelok VCR^®継手エンド・コネクション
電気式インジケーター、光学式ポジション・センサー

ALD3／ALD6シリーズ・バルブのダイヤフラムは、強度と耐食性に優れたコバルト基超合金製です。バルブ・ボディは316L VIM-VARステンレス鋼製で、超高純度アプリケーションに適しています。バルブ・シートは高純度PFA 製で、幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。

超高純度用バルブ ALD3／ALD6シリーズの作動型式は、ノーマル・クローズ型とノーマル・オープン型です。2ポート・バルブ（ストレート型、エルボー型）、マルチポート・バルブおよびマルチバルブ・マニホールド（2ポート、3ポート、4ポート）、1.125 インチ（ALD3シリーズのみ）および1.5 インチ・サイズのプラットフォームの集積バルブ（2ポート、3ポート）など、多様な形状があります。個々のプロセスに合わせて、高温モデルのアクチュエーター、電気式インジケーター、ソレノイド・パイロット・バルブ、ヒーター・カートリッジ挿入穴付きといったオプションを選ぶことができます。

仕様

使用圧力範囲	真空～1.0 MPa
破裂時	> 22.0 MPa
作動圧力範囲	0.41 ～ 0.83 MPa
使用温度範囲	0°～200°C
流量係数（C_v値）	0.27または0.62
ボディ材質	316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質	コバルト基超合金
エンド・コネクション
タイプ（サイズ）	めすVCR^®面シール継手（1/4～1/2 インチ）おすVCR面シール継手（1/4～1/2 インチ）集積モデル大流量用Cシール（1.125～1.5 インチ）

ALD3／ALD6シリーズ・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

超高純度用バルブ原子層プロセス用

■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手

ダウンロードお気に入りに追加する