Swagelok® Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves for Atomic Layer Processing (ALD7A Series)
Swagelok ALD7A ultrahigh-purity valves provide the flow consistency and capacity, actuator speed, temperature rating, and cleanliness necessary to help maximize chip throughput in new or existing semiconductor manufacturing tools.
Request ALD7A Valve InformationBuilding on the proven ALD7 valves, the Swagelok® ALD7A ultrahigh-purity diaphragm valve has been enhanced with field flow adjustability, enabling precise tuning of flow performance directly within the tool environment. ALD7A valves are purpose-built to deliver precise, repeatable flow and actuation performance across demanding cycling conditions, and now offer the added capability to fine-tune flow to match specific process conditions, reduce variability across chambers and tools, and optimize dose control without system redesign.
Built for uncompromising precision, the ALD7A valve features:
- Enhanced actuator technology for high-speed and repeatable actuation—capable of an actuation time of less than 3 ms and actutation response time of approximately 5 ms
- Flow coefficient up to 0.7 Cv with optional custom flow coefficients available
- Field flow adjustability may allow up to a 25% decrease of Cv from factory flow set
- Corrosion resistant valve body comprised of 316L VIM-VAR stainless steel for ultrahigh-purity applications
- Immersible standard valve body from 32°F (0°C) to 392°F (200°C); optional high-temperature body and actuator immersible from 32°F (0°C) to 302°F (150°C)
ALD7A Valve Specifications
| Working Pressure | Vacuum to 145 psig (10.0 bar) |
| Burst Pressure | >3200 psig (220 bar) |
| Actuation Pressure | 60 to 120 psig (4.2 to 8.2 bar) |
| Temperature Rating | 32°F (0°C) to 392°F (200°C) |
| Flow Coefficient | Standard 0.7 Cv (factory set) |
| Body Materials | 316L VIM-VAR stainless steel |
| Diaphragm Material | Cobalt-based superalloy |
| End Connections | Type: VCR® fittings, tube butt weld, 1.5 in. modular surface-mount high flow C-seal |
Have questions about ALD valves?
Каталоги клапанов серии ALD7
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
Способы решения основных проблем, связанных с обработкой полупроводников методом атомно-слоевого осаждения (ALD) и атомно-слоевого травления (ALE)
Для процесса обработки полупроводников методами атомно-слоевого осаждения (ALD) и атомно-слоевого травления (ALE) характерны определенные проблемы и сложности. Узнайте, как правильный выбор технологических клапанов поможет вам справиться с ними.
Выберите подходящие клапаны для решения задач в области атомно-слоевого осаждения (ALD)Ресурсы Swagelok специально для вас
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство—вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей
Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.