Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты (серии ALD3 и ALD6)
Мембранные клапаны Swagelok серий ALD3 и ALD6 имеют сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания и коэффициенты расхода до 0,62, позволяя производителям полупроводников достигать контролируемого дозирования, необходимого для полупроводникового производства с атомно-слоевым осаждением.
Запросить дополнительную информациюКонструкция клапанов серий ALD3 и ALD6 сверхвысокой степени чистоты позволяет производителям полупроводников выполнять стабильное, высокоскоростное дозирование газовых прекурсоров, необходимое для послойного наращивания микросхем в камерах осаждения. Данные высокоэффективные клапаны сверхвысокой степени чистоты обеспечивают:
- сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания;
- коэффициенты расхода от 0,27 до 0,62; также предлагаются заказные коэффициенты расхода;
- работу с полным погружением при температуре до 392 °F (200 °C) с опциональными термостойкими приводами;
- пригодность для применения в сверхчистых системах со стандартными корпусами клапанов из нержавеющей стали 316L VIM-VAR;
- модульные соединения для монтажа на поверхность, соединения под приварку встык и торцевые соединения Swagelok VCR®;
- вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода.
Мембраны ALD3 и ALD6 изготовлены из специального сплава на основе кобальта, который обеспечивает прочность и коррозионную стойкость, корпуса клапанов выполнены из нержавеющей стали 316L VIM-VAR, что позволяет использовать их в системах сверхвысокой степени чистоты, а седла клапанов выполнены из полностью фторированного высокочистого перфторалкокси (PFA), что обеспечивает широкий диапазон химической совместимости и отличную сопротивляемость вздутию и загрязнению.
Клапаны серий ALD3 и ALD6 сверхвысокой степени чистоты можно настроить для нормально закрытого и нормально открытого пневматического привода, они предлагаются в различных конфигурациях, включая прямые и угловые конфигурации с двумя отверстиями, многоканальные клапаны и клапанные блоки с двумя, тремя и четырьмя отверстиями и модульные клапаны с двумя и тремя отверстиями для монтажа на поверхность платформ толщиной 1,125 дюйма (только серия ALD3) и 1,5 дюйма. Предлагаемые термические приводы, датчики положения, электромагниты и опциональные отверстия в корпусе для размещения нагревательных картриджей могут обеспечить пользователю дополнительное преимущество, в зависимости от конкретных техпроцессов.
Технические характеристики
| Рабочее давление | От вакуума до 145 фунтов на кв. дюйм, ман. (10,0 бара) |
| Давление разрыва | > 3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар) |
| Давление срабатывания | От 50 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 3,5 до 6,2 бара) |
| Температура | От 32 до 392 °F (от 0 до 200 °C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 0,27 или 0,62 |
| Материалы корпуса | Нерж. сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | Специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | |
| Тип (размер) | Фитинг с торцевым уплотнением VCR® с внутренней резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма) Фитинг с торцевым уплотнением VCR с наружной резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма) Модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (от 1,125 до 1,5 дюйма) |
Каталоги клапанов серий ALD3 и ALD6
Получите подробную информацию о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Узнайте о подборе материаловРесурсы Swagelok специально для вас
Один новый клапан — и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии производства клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD) меняют условия игры в сфере высокотехнологичного производства полупроводников.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью специализированных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании обойти конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей
Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.