Membranventile von Swagelok®
Mit den Membranventilen von Swagelok lässt sich die Systemleistung optimieren und gleichzeitig für eine effektive Absperrung des Durchflusses sorgen, während Einschlussbereiche minimiert und durch einen Fließweg ohne Totzonen die Spülung erleichtert wird. Ausgelegt für die Systemanforderungen von hochreinen und ultrahochreinen Anwendungen zeichnen sich Membranventile durch eine lange Lebensdauer aus und sind in vielen unterschiedlichen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen erhältlich.
Membranventile anzeigenAusgelegt für die Anforderungen von hochreinen und ultrahochreinen Anwendungen sind die Membranventile von Swagelok in unterschiedlichen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen und mit Durchflusskoeffizienten von 0,20 bis 13 erhältlich. Dank des Fließwegs ohne Totzonen und der korrosionsbeständigen Konstruktionswerkstoffe sind sie die ideale Wahl für Anwendungen, in denen es auf eine hohe Reinheit ankommt. Anwender können aus einem umfassenden Angebot aus manuellen, pneumatischen und absperrenden Handgriff- und Stellantriebsoptionen wählen.
Die Membranventile von Swagelok eigenen sich für Anwendungen zur Atomlagenabscheidung (ALD), in modularen Gassystemen, zur Wärmeimmersion sowie für ultrahochreine Anwendungen, für die Komponenten aus Fluorpolymer erforderlich sind.
- Die federlosen Membranventile von Swagelok für modulare Gassysteme sind einfach zu installieren, zeigen die Durchflussrichtung visuell an und zeichnen sich durch eine Sitzkonstruktion aus, die die thermische Stabilität verbessert.
- Die Membranventile für Bulkgassysteme von Swagelok halten nicht nur großer Beanspruchung stand, sondern zeichnen sich außerdem durch ein hohes Maß an Flexibilität und eine lange Lebensdauer für die sichere Absperrung, Gasverteilung und Isolierung in ultrahochreinen Anwendungen aus.
- Die Membranventile zur Wärmeimmersion von Swagelok können in hochreinen Umgebungen bei hohen Temperaturen eingesetzt werden und sind daher eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen zur Atomlagenabscheidung (ALD) und entsprechend vorgelagerte Prozesse.
- Die ultrahochreinen Fluorpolymer-Membranventile der Serie DRP von Swagelok sind eine robuste Lösung für Systeme zur Verteilung von ultrahochreinen Chemikalien, deionisiertem Wasser (VE-Wasser) und großen Chemikalienmengen.
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Membranventile—Kataloge
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Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available
Features: Packless, all-metal containment; Working pressures from vacuum to 3500 psig (241 bar); Temperatures from –100 to 250°F (–73 to 121°C)
Features: Suitable for ultrahigh-purity applications; 316L VIM-VAR stainless steel body; Low-pressure and high-pressure models; VCR®, tube butt weld, and modular surface-mount end connections; Manual or pneumatic actuation
Features: Working pressures up to 300 psig (20.6 bar); Shutoff, bulk-gas distribution, and isolation service; Cast, forged, and bar stock stainless steel body material; 1/4 to 1 in. and 12 to 25 mm end connections
Features: 316L VAR stainless steel body; Working pressures up to 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8, and 1/2 in.; 10 and 12 mm end connections
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