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Swagelok^®超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ（DRPシリーズ）

Swagelok 超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。

Swagelok^®ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズは、接液・接ガス部の材質に次世代PTFEを使用しているため、耐薬品性に優れています。特許を取得した流体流路で流体のたまりを低減すると共に、プロセス流体を素早くパージしてコンタミネーションのリスクを最小限に抑えます。また、流体のせん断を抑えてスラリーの凝集を防止し、プロセス効率の向上を実現します。

次世代PTFE 製ダイヤフラムは耐久性に優れ、長いサイクル・ライフを実現しているほか、オペレーション中の応力を軽減する形状（特許）を採用しています。ダイヤフラムの縁でバルブ内部を密封し、プロセス流体のコンタミネーションを防止すると同時にシートのひずみを抑えます。

DRPシリーズ・バルブは、空気作動式または手動式が選択できるほか、正確な制御が可能なバイパス流量調節機能付きのバルブもあります。SEMI F57-0301に適合しているため、CMPスラリー・システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムなどの超高純度（UHP）アプリケーションに適しています。

仕様

最高使用圧力	0.68 MPa
流体温度範囲	23°～100°C
流量係数（C_v値）	最大10.2
ボディ／ダイヤフラム材質	次世代PTFE
エンド・コネクション	タイプ：フレアー継手、スーパー300タイプピラーフィッティング^®（標準）サイズ：1/4～1 1/4 インチ、6～25 mm 種類：空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー）

DRPシリーズ・バルブで超高純度流体システムを最適化しませんか？

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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

Ultrahigh-Purity Fluoropolymer Diaphragm Valves, DRP Series

Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available

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