Swagelok®ダイヤフラム・バルブ
ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着（ALD）用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。
View Diaphragm ValvesSwagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.
Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.
- Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
- Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
- Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
- Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems
Have questions about diaphragm-sealed valves?
Kategorien
Ersatzteile und Zubehör
Hochwertige Wartungskomponenten sowie Ersatz- und Zubehörteile für Membranventile, darunter, Membran- und Dichtungssätze, Spindelsätze und Antriebssätze.
Federlose Membranventile für modulare Gassysteme, 1,125 Zoll, Serie DE
Zuverlässige und optimierte Regelventile in federloser Ausführung eignen sich ideal für den effizienten Betrieb modularer Gassysteme.
Hochreine Hochdruck-Membranventile, Serien DL und DS
Hochreine Hochdruck-Membranventile mit wiederholter Absperrung & vollständig geschlossener, weich dichtender Spindelspitze, Standardboden & Schalttafelmontage.
Membranventile für Gasverteilung (Serie LD)
Hochdurchfluss-Membranventile für die sichere Absperrung, Gasverteilung und Isolierung in ultrahochreinen Anwendungen.
Membranventile zur Wärmeimmersion, Serie DH
Membranventile zur Wärmeimmersion kommen bei hohen Temperaturen zum Einsatz, z. B. bei der Atomlagenabscheidung (ALD) und vorgelagerten Prozessen.
Ultrahochrein, Hochdruck-Membranventil, Serie DPH
Ultrahochreine Hochdruck-Membranventile sind für unterschiedliche Anwendungen und in einer Vielzahl von Größen, Werkstoffen und Konfigurationen erhältlich.
Ultrahochreine Fluorpolymer, Membranventile, Serie DRP
Optimale Leistung und Beständigkeit in ultrahochreinen chemischen Systemen mit völlig freiem Durchflussweg – für minimale Belastungen und Fluidkontamination.
Ultrahochreine Membran-Absperrventile, Serie DP
Ultrahochreine Absperrmembranventile in gerader und Mehrwege-Ausführung, mit manueller Betätigung, modularer Flächenbefestigung und integrierten Steuerköpfen.
Ultrahochreine Membranventile für hohen Durchfluss, Serie DF
Die langlebigen Membranventile mit hohem Durchfluss sind ohne Federn & Gewinde ausgelegt, um die Sauberkeit zu erhöhen und eine optimale Spülung zu ermöglichen.
Ventilblöcke mit mehreren Ventilen
Entdecken Sie unsere Mehrfachventilblöcke mit Membranventilen – für eine zuverlässige Leistung, hohe Reinheit und präzise Fluidkontrolle.
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
DRP 시리즈 공기작동식 및 1/4 회전 수동식 2-방향 및 3-방향 모델; 공기 작동식 및 유량 조절과 바이패스가 가능한 수동식 모델 유체가 접촉되는 부위는 DuPont® Teflon® 개선된 PTFE 및 폴리프로필렌 개폐기 초고순도 시스템 부품에 적용되는 SEMI 표준 F57-0301 준수 확관형 및 Nippon Pillar® Super 300 연결구가 기본형; Flowell, space saver 및 기타 연결구 제공 가능 주문자 요청에 의한 매니폴드 및 부분 조립품 제공 가능
DL 및 DS 시리즈 패킹이 없는 금속 밀폐구조 용 압력 범위: 진공 ~ 3500 psig (241 bar) 온도 범위: –73 ~ 121°C (–100 ~ 250°F)
DP 시리즈 초고순도 사양에 적합 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체 저압용 및 고압용 모델 VCR®, 튜브 맞대기 용점 및 블럭 조립식 연결구 수동식 또는 공기작동식 개폐기
LD 시리즈 최대 사용 압력 300 psig (20.6 bar) 일반 차단 기능, 벌크 가스 분배 및 차단 서비스 주조, 단조 및 바 스톡 스텐레스강 몸체 재질 1/4 ~ 1 in. 및 12 ~ 25 mm 연결구
DF 시리즈 316L VAR 스텐레스강 몸체; 최대 사용 압력: 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8 및 1/2 in. 그리고 10 및 12 mm 연결구
スウェージロックのリソース
産業用流体システムに適したバルブを選定する方法
産業用流体システムやサンプリング・システムの設計アプリケーションに適したバルブを選定するためのSTAMPEDメソッドの適用方法を紹介します。
低排出認証付きバルブを使用して、フュージティブ・エミッション（排出物の漏れ）に伴うコストを最小限に抑える
化学／石油精製業界では、フュージティブ・エミッションに関する懸念が高まっています。低排出認証付きバルブを使用することで、施設と収益を保護することができます。今回は、低排出認証付きバルブとは何か、どのように試験を行っているか、そして低排出認証付きバルブを使用するとどのようなメリットが得られるかを紹介します。
ブロック・バルブで一般産業用流体システムを遮断する方法
一般産業用流体システムのメンテナンスを行う際は、プラントの安全を確保するため、事前にラインを遮断する必要があります。流体システム・ラインを安全に遮断できる方法のひとつは、2個のブロック・バルブを並べて取り付ける方法です。今回は、システムに最適な構成を設計する方法を紹介します。
1つの新しいバルブが半導体製造を変える3つの理由
今回は、原子層蒸着（ALD）バルブの最新テクノロジーが、ハイテク半導体メーカーにもたらす影響について紹介します。
ダイヤフラム・バルブ
Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っており、高純度用途／超高純度（UHP）用途でのニーズを満たします。流量係数（Cv値）は0.20～13で、最高使用圧力は24.1 MPaです。
ダイヤフラム・バルブは、システムの流れを効果的に締め切り、長期にわたるサイクル・ライフを実現します。スウェージロックは、原子層蒸着（ALD）用バルブ、大流量用スプリングレス・バルブ、高性能バルブ、集積化ガス・システム、サーマル・イマージョン・バルブ、超高純度用フルオロポリマー・バルブなどのダイヤフラム・バルブを取り揃えています。アクチュエーター・タイプは、手動式や空気作動式、ロッキング・ハンドルなどから選ぶことができます。