Swagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ、原子層プロセス用（ALD3／ALD6シリーズ）
Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD（原子層蒸着）半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。
ALDバルブについて問い合わせるDie ultrahochreinen Swagelok®Membranventile der Swagelok®Serien ALD3 und ALD6 wurden entwickelt, um Halbleiterherstellern eine zuverlässige Hochgeschwindigkeitsdosierung von Vorläufergasen zu ermöglichen, die für den schichtweisen Aufbau von Mikrochips in Abscheidekammer eingesetzt werden. Diese äußerst leistungsstarken Ventile für ultrahochreine Anwendungen zeichnen sich durch eine extrem lange Lebensdauer, die vollständige Eintauchfähigkeit bei hohen Temperaturen sowie durch ihre Eignung für ultrahochreine Anwendungen aus.
Die Membranen der ALD3- und ALD6-Ventile bestehen aus einer Superlegierung auf Kobaltbasis, die Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit gewährleistet. Die Ventilkörper sind für den Einsatz in ultrahochreinen Anwendungen aus Edelstahl 316L VIM-VAR gefertigt. Die Ventilsitze sind aus fluoriertem PFA für den Einsatz unter hochreinen Bedingungen hergestellt, um die Kompatibilität mit zahlreichen Chemikalien und eine herausragende Beständigkeit gegen Aufquellen und Verunreinigung sicherzustellen. Diese Ventile sind für eine normal geschlossene sowie normal offene pneumatische Betätigung konzipiert und für unterschiedliche Installationsanforderungen in verschiedenen Konfigurationen erhältlich.
Wie ALD-Ventile die Halbleiterfertigung verbessern
ALD3- und ALD6-Ventile — Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3.200 psig) |
| Betätigungsdruck | 3,5 bis 6,2 bar (50 bis 90 psig) |
| Temperatur | 0 ° bis 200 °C (32 ° bis 392 °F) |
| Durchflusskoeffizient (Cv) | 0,27 oder 0,62 |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Superlegierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | Typ (Größe): VCR®-Innengewinde mit Metalldichtscheibe (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll), VCR-Außengewinde mit Metalldichtscheibe (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll), modulare Flächenmontage mit C-Dichtung für hohen Durchfluss (1 1/8 Zoll bis 1 1/2 Zoll) |
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Ventile der Serien ALD3 und ALD6—Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
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