Swagelok® 원자층 가공용 초고순도 다이어프램 밸브(ALD7 시리즈)
Swagelok ALD7 초고순도 밸브는 신규 또는 기존 반도체 제조 장비의 칩 생산량을 극대화하는 데 필요한 유량 일관성과 용량, 액추에이터 속도, 온도 등급, 청정도를 제공합니다.
ALD7 밸브 정보 요청La válvula de diafragma Swagelok® ALD7 de ultra alta pureza para procesos de deposición de capas atómicas (ALD) permite a los fabricantes de herramientas para semiconductores y fabricantes de chips optimizar la producción de chips viables y mejorar la rentabilidad aumentando la consistencia y capacidad de caudal, la velocidad del actuador y el rendimiento a altas temperaturas necesarios para superar las limitaciones de los procesos de producción. Ofrece un rendimiento consistente de válvula a válvula, de dosis a dosis y de cámara a cámara a lo largo de un ciclo de vida ultra-alto.
La válvula Swagelok ALD7:
- Permite una dosificación rápida y precisa a lo largo de millones de ciclos, incluso en las aplicaciones más exigentes, y tiene una tecnología de actuador mejorada con un tiempo de respuesta de sólo 5 ms.
- Es resistente a los gases corrosivos gracias a su cuerpo de acero inoxidable Swagelok 316L VIM-VAR de ultra alta pureza.
- Puede calentarse hasta 200°C manteniendo el actuador neumático por debajo de la temperatura máxima de servicio de 150°C.
- Tiene un coeficiente de caudal (Cv) de hasta 0,7 (hay disponibles versiones personalizadas opcionales (ajustadas en fábrica) con un coeficiente de caudal de 0,5–0,7 Cv).
- Mantiene el mismo tamaño que las válvulas ALD industriales Swagelok y tiene un aislador térmico integrado para maximizar el espacio limitado cerca de la cámara de reacción.
Vea de Cerca las Válvulas ALD7
Especificaciones de la Válvula ALD7
| Presión de Servicio | Vacío hasta 10,0 bar (145 psig) |
| Presión de Rotura | > 220 bar (3200 psig) |
| Presión de Actuación | 4,1 a 8,27 bar (60 a 120 psig) |
| Temperatura de Servicio | Cuerpo estándar de la válvula de 0°C (32°F) a 200°C (392°F) |
| Coeficiente de Caudal | Cv estándar, 0,7 (ajustado en fábrica) |
| Materiales del Cuerpo | Acero inoxidable 316L VIM-VAR |
| Material del Diafragma | Super aleación con base de cobalto |
| Conexiones Finales | Tipo: Accesorios VCR®, soldadura de tubo a tope, montaje modular superficial de alto caudal con junta C de 1,5 pulg. |
¿Tiene alguna pregunta sobre las válvulas ALD?
ALD7 Series Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Способы решения основных проблем, связанных с обработкой полупроводников методом атомно-слоевого осаждения (ALD) и атомно-слоевого травления (ALE)
Для процесса обработки полупроводников методами атомно-слоевого осаждения (ALD) и атомно-слоевого травления (ALE) характерны определенные проблемы и сложности. Узнайте, как правильный выбор технологических клапанов поможет вам справиться с ними.
Выберите подходящие клапаны для решения задач в области атомно-слоевого осаждения (ALD)Ресурсы Swagelok специально для вас
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство—вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей
Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.