Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования в современном полупроводниковом производстве.
Запросить дополнительную информациюНаши высокоэффективные клапаны для атомно-слоевого осаждения — яркий пример того, как компания Swagelok в течение длительного времени обеспечивала ответственное техническое руководство в отрасли производства полупроводников. Познакомив мир с клапанной технологией ALD, компания Swagelok тесно сотрудничала с заказчиками из полупроводниковой отрасли, чтобы понять их потребности, а затем создать клапаны ALD, обеспечивающие высочайшие уровни точности, единообразия, чистоты и длительный срок службы, необходимые для соответствия стремительным темпам внедрения инноваций в отрасли. Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:
- сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания;
- коэффициенты расхода от 0,27 до 1,7;
- работу с полным погружением при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами;
- пригодность для применения в сверхчистых системах со стандартными корпусами клапанов из нержавеющей стали 316L VIM-VAR;
- модульные соединения для монтажа на поверхность, соединения под приварку встык и торцевые соединения Swagelok VCR®;
- вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода.
Catégories
Vannes très haute pureté pour applications haut débit, série ALD20
La vanne très haute pureté ALD20 dépasse les limites de la technologie actuelle de dépôt par couche atomique, avec des débits deux à trois fois supérieurs à ceux d’autres vannes ALD.
Vannes à membrane très haute pureté, séries ALD3 et ALD6
Conçues pour les applications de dépôt par couche atomique, les vannes à membrane ALD3 et ALD6 se caractérisent par une durée de vie très longue, un actionnement ultrarapide et une grande robustesse.
Vannes à membrane très haute pureté, série ALD7
La vanne à membrane très haute pureté ALD7 Swagelok offre la précision et la régularité nécessaires pour maximiser la production de puces dans le secteurs des semi-conducteurs.Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Получите подробную информацию о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Один новый клапан — и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии производства клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD) меняют условия игры в сфере высокотехнологичного производства полупроводников.
Узнайте больше о периодической таблицеРесурсы Swagelok специально для вас
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью специализированных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании обойти конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей
Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.