
Swagelok®ダイヤフラム・バルブ
ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着(ALD)用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。
View Diaphragm ValvesSwagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.
Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.
- Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
- Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
- Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
- Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems
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Manifolds multivannes
Trouvez des manifolds multivannes à membrane. Conçus dans un souci de fiabilité, ces manifolds garantissent une grande pureté et un contrôle précis des fluides.

Pièces détachées et accessoires
Explorez des pièces détachées et des accessoires de qualité destinés à l’entretien des vannes à membrane, notamment des kits de membrane et d’étanchéité, des kits de tige et des kits d’actionneur.

Vannes d’arrêt à membrane très haute pureté, série DP
Affichez des vannes d’arrêt à membrane très haute pureté à configuration droite, actionnement manuel, orifices multiples et montage modulaire en surface (MSM) avec actionneurs intégrés.

Vannes à membrane en fluoropolymère très haute pureté, série DRP
Garantissez les performances et la longévité des vannes dans des systèmes acheminant des produits chimiques très purs grâce à un passage d’écoulement entièrement balayé pour limiter les contraintes et la contamination des fluides.

Vannes à membrane haut débit très haute pureté, série DF
Augmentez la durée de vie des vannes avec les vannes à membrane haut débit sans ressort. L’absence de ressorts et de filets améliore la propreté et le passage d’écoulement entièrement balayé facilite la purge.

Vannes à membrane haute pression haute pureté, séries DL et DS
Découvrez des vannes à membrane haute pureté et haute pression pour des fermetures répétées avec embout de tige pour siège doux entièrement contenu et possibilité de montage par la base et sur panneau.

Vannes à membrane haute pression très haute pureté, série DPH
Des vannes à membrane haute pression très haute pureté sont proposées dans plusieurs tailles, matériaux et configurations pour des applications diverses.

Vannes à membrane pour distribution de gaz en vrac, série LD
Vannes à membrane haut débit utilisables dans de nombreuses applications d’obturation haute pureté, de distribution de gaz en vrac et d’isolement.

Vannes à membrane pour immersion à haute température, série DH
Les vannes à membrane pour immersion à haute température sont utilisées dans des process comme le dépôt par couche atomique (ALD) et l’alimentation en gaz précurseurs.

Vannes à membrane sans ressort pour systèmes à gaz modulaires, série DE, 1,125 po
Fiables et efficaces, les vannes à membrane sans ressort sont idéales pour assurer le bon fonctionnement des systèmes de gaz modulaires.
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available
Etanchéité vers l’atmosphére par membrane métallique, Pressions de service allant du vide à 241 bar (3500 psig), Températures de –73 à 121°C (–100 à 250°F)
Convient aux applications haute pureté; Corps en acier inoxydable 316L VIM-VAR; Modèles basse et haute pression; Raccordements VCR®, tube à souder bout à bout et raccordements pour montage modulaire en surface; Commande manuelle ou pneumatique
Pressions de service jusqu’à 20,6 bar (300 psig); Fonctions d’arrêt, réseau de distribution de gaz, et d’isolation; Matériau du corps en acier inoxydable moulé, forgé et usiné dans la masse; Raccordements d’extrémité de 12 à 25 mm et de 1/4 à 1 po.
Features: 316L VAR stainless steel body; Working pressures up to 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8, and 1/2 in.; 10 and 12 mm end connections

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ダイヤフラム・バルブ
Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っており、高純度用途/超高純度(UHP)用途でのニーズを満たします。流量係数(Cv値)は0.20~13で、最高使用圧力は24.1 MPaです。
ダイヤフラム・バルブは、システムの流れを効果的に締め切り、長期にわたるサイクル・ライフを実現します。スウェージロックは、原子層蒸着(ALD)用バルブ、大流量用スプリングレス・バルブ、高性能バルブ、集積化ガス・システム、サーマル・イマージョン・バルブ、超高純度用フルオロポリマー・バルブなどのダイヤフラム・バルブを取り揃えています。アクチュエーター・タイプは、手動式や空気作動式、ロッキング・ハンドルなどから選ぶことができます。