Swagelok ® Ultrahochreine Fluorpolymer-Membranventile (Serie DRP)
Die ultrahochreinen Fluorpolymer-Membranventile der Serie DRP von Swagelok sind eine robuste Lösung für Systeme zur Verteilung von ultrahochreinen Chemikalien, deionisiertem Wasser (VE-Wasser) und großen Chemikalienmengen.
Weitere Informationen anfordernDie Ventile der Serie DRP von Swagelok® sind mit einem modifiziertem PTFE-Köper für hervorragende Chemikalienbeständigkeit gefertigt. Der patentierte, vollkommen frei gehaltene Fließweg reduziert Einschlussbereiche, ermöglicht zügiges Freispülen von Prozessmedien und minimiert das Kontaminationsrisiko. Darüber hinaus reduziert er die Fluidscherung zur Vorbeugung gegen Schlammanhäufungen und verbessert die Prozesseffizienz.
Die patentierte Membranform aus modifiziertem PTFE wurde optimiert, um die Belastung während der Betätigungszyklen zu minimieren. Ein verstärkter Membranrand dichtet die Ventilkammer ab, verhindert Verunreinigungen im Prozessmedium und reduziert die Ventilsitzbelastung.
Die Membranventile der Serie DRP sind mit pneumatischer oder manueller Betätigung und einstellbaren Durchfluss- und Bypass-Optionen für eine präzise Regelung erhältlich. Sie erfüllen die SEMI-Norm F57-0301 und eignen sich daher hervorragend für ultrahochreine Anwendungen wie chemisch-mechanische Planarisierungssysteme (CMP), VE-Wassersysteme und Systeme zur Bereitstellung großer Chemikalienmengen.
Spezifikationen
| Druckstufe | Bis 6,8 bar (100 psig) |
| Medientemperatur | 23 ° bis 100 °C (73 ° bis 212 °F) |
| Durchflusskoeffizient | Bis 10,2 |
| Körper-, Membranwerkstoff: | Modifiziertes PTFE |
| Endanschlüsse | Typ: Fine-Flare- und Nippon Pillar® Super 300® Standard Größe: 6 bis 25 mm und 1/4 bis 1 1/4 Zoll Konfiguration: manuelle und pneumatische 2- und 3-Wege-Absperrung; einstellbare Durchfluss- und Bypass-Modelle |
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Ultrahochreine Fluorpolymer-Membranventile—Kataloge
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■ 空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4 回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー）／■ 接液・接ガス部の材質：次世代PTFE／アクチュエーターの材質：ポリプロピレン／■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合／■ 標準のエンド・コネクション：フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング／Flowell（フロウエル）、スペース・セーバーなど／その他のエンド・コネクションもございます／■ カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます
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