-
대유량 애플리케이션용 UHP 밸브, ALD20 시리즈
Swagelok ALD20 초고순도 밸브는 낮은 증기 압력 프리커서 가스가 필요한 원자층 증착(ALD) 공정에 이상적인 대유량 성능을 제공합니다. 대유량 Swagelok ® ALD20 초고순도 밸브는 Swagelok ® ALD 밸브에서 기대할 수 있는 신뢰성과 성능을 제공하는 동시에, 이전에 달성할 수 없었던 온도 안정성과 유량 가능성을 지원합니다. 따라서, 제조업체는 다양한 공정과 저증기압 화학 기술을 실험하면서 공정을 크게 변경하지 않고도 첨단 기술을 개발하는 데 필요한 균일한 가스 증착을 달성할 수 있습니다. S...
-
UHP 다이어프램 밸브, ALD3 및 ALD6 시리즈
Swagelok ALD3 및 ALD6 시리즈 다이어프램 밸브는 반도체 제조 장비에 사용되어 원자층 증착(ALD) 가공에 필요한 투입량 제어 기능을 제공합니다. 이 제품은 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 최고 0.62의 유량 계수를 제공합니다. 초고순도 Swagelok ® ALD3 및 Swagelok ® ALD6 다이어프램 밸브는 반도체 제조업체 에 증착 챔버에서 적층(LBL, layer by layer)으로 마이크로칩을 만드는 데 사용되는 프리커서 가스의 신뢰성 높은 고속 투입 기능을 제공하도록 설계되었습니다....
-
UHP 다이어프램 밸브, ALD7 시리즈
Swagelok ALD7 초고순도 밸브는 신규 또는 기존 반도체 제조 장비의 칩 생산량을 극대화하는 데 필요한 유량 일관성과 용량, 액추에이터 속도, 온도 등급, 청정도를 제공합니다. Swagelok ® ALD7 원자층 증착용(ALD) 초고순도 다이어프램 밸브는 반도체 장비 생산업체 및 칩 제조업체가 생산 공정의 한계를 극복하는 데 필요한 유량 일관성 및 용량, 액추에이터 속도, 고온 성능을 지원함으로써 실현 가능한 칩 수율을 올리고 수익성을 높일 수 있도록 합니다. 이 제품은 극도로 높은 사이클 수명 동안 밸브 간, 투입량...
-
원자층 증착(ALD)용 밸브
Swagelok 초고순도 원자층 증착(ALD) 밸브는 첨단 반도체 제조 애플리케이션에서 정밀한 투입량을 보장하고 칩 수율을 극대화하는 데 필요한 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 유량, 고온 봉입성(thermal immersibility), 극한의 청정도를 제공합니다. Swagelok은 세계에 ALD 밸브 를 선보인 이래로, 반도체 도구 장비사 및 제조업체와 면밀한 협력을 통해 시장의 빠른 혁신 속도에 대응하는 데 필요한 극한 수준의 정밀도, 일관성, 청정도, 높은 사이클 수명을 제공하는 첨단 ALD 밸브 기술을 공급하고 있습...
-
암모니아샘플러
Swagelok 암모니아 샘플러를 사용하면 액체 및 기화 암모니아에 대한 작업자의 노출을 최소화하여 더 안전하게 무수 암모니아 샘플링을 실행할 수 있습니다. 또한 이를 통해 샘플링 프로세스를 대폭 가속하여 샘플링 작업에 일관성을 도입하고, 시설 내에서 암모니아 샘플을 운반할 필요성도 없앨 수 있습니다. 무수 암모니아는 비료, 플라스틱, 섬유, 석유 등을 생산하는 데 사용됩니다. 저장 탱크 내의 암모니아 응력 부식 균열과 제품 품질 문제를 방지하려면, 제품을 정기적으로 샘플링하여 수분 함량이 0.2%~0.5% 사이인지 확인해야 합니다...
-
분석 계장
Swagelok은 공정 유체 분석 분야의 폭넓은 전문 지식을 활용하여 광범위한 맞춤형 사전 설계 서브시스템, 유체 시스템 어셈블리 및 부품을 공급합니다. Swagelok은 다양한 유체 시스템 애플리케이션을 지원할 수 있도록 설계, 문제 해결, 교육 서비스를 제공합니다. 한정 평생 품질 보증이 적용되는 Swagelok의 사전 설계 서브시스템은 일관성과 손쉬운 설치를 보장하여 다양한 시설에서 유체 샘플링 및 제어를 간소화합니다. 애플리케이션 엔지니어는 고품질 Swagelok 부품을 사용하여 유체 시스템 솔루션을 설계하고 구축합니다. 이...
-
돔 역압(Back-Pressure) 레귤레이터
돔 하중 프로세스 레귤레이터는 입구 압력 또는 유량 변화에 관계없이 드룹(droop)을 최소화하고 고도로 안정적인 출구 압력을 제공합니다. 역압(Back-Pressure) 프로세스 레귤레이터는 레귤레이터의 수동 또는 원격 운영이 적절한 광범위한 산업 애플리케이션에 적합합니다. 돔 하중 프로세스 레귤레이터는 입구 압력 또는 유량에 변동이 있더라도 일관적인 출구 압력을 유지하는 데 탁월한 제품입니다. 이러한 안정성은 고정 스프링이 필요 없는 가압 돔 제어 메커니즘을 통해 달성됩니다. 이 다기능 레귤레이터는 다음과 같은 특정 애플리케이션...
-
볼 밸브 및 1/4 회전 플러그 밸브
Swagelok 볼 밸브와 플러그 밸브는 거의 모든 산업에 대응하는 포괄적인 유체 차단 솔루션을 제공합니다. 볼 밸브 | 애플리케이션에 적합하게 선택 및 구성된 신뢰성 높은 차단 밸브 플러그 밸브 | 안정적인 저 토크 작업을 지원하는 경제적이고 신뢰성 높은 차단 솔루션 Swagelok 볼 밸브는 비산 누출 을 억제할 수 있으며 광범위한 애플리케이션에 사용 가능합니다. 또한, 반복 가능하고 누설 없는 차단이 가능하도록 설계되었으며, 총 소유 비용이 저렴하고, 관통 유로형 원피스(One-Piece) 계장, 3 피스 프로세스, 트러니언 ...
-
벨로우즈 밸브
Swagelok 벨로우즈 밸브는 대부분 패킹이 없는 구조 또는 용접 씰을 사용하여 누설 가능성을 억제하도록 설계됩니다. 또한, 대기압에 대한 밀폐가 작업자의 안전을 유지하고 공정이 설계대로 작동하는 데 필수적인 애플리케이션에서 신뢰성 높고 누설 없는 성능을 제공합니다. Swagelok 벨로우즈 밸브는 다양한 스타일과 구성으로 공급 가능하므로, 사용자가 일반 및 고순도 애플리케이션에서 원활하게 작동할 옵션을 찾을 수 있습니다. 가스켓 또는 용접 방식의 몸체-벨로우즈 씰, 차단 또는 조절 서비스용 스템 팁, 다양한 연결구, 광범위한 유...
-
벤치탑 튜브벤더
Swagelok 벤치탑 튜브 벤더는 간편하고 일관적인 튜브 벤딩이 가능한 견고하면서도 가벼운 구조이며, 사용자가 높은 품질 기준을 준수하는 동시에 설치 시간을 단축하도록 지원합니다. Swagelok ® 벤치탑 튜브 벤더를 사용하면 다양한 구성의 벤딩된 튜빙을 손쉽게 만들 수 있습니다. 이 제품은 견고한 알루미늄 구조로 내구성을 보장하며 CE 인증을 받았습니다. 벤치탑 튜브 벤더는 외경 6~30 mm(1/4~1 1/4인치), 벽 두께 0.8~3.0 mm(0.028~0.120인치)인 튜빙에서 1~180°의 벤딩 범위를 제...
