Swagelok^® 초고순도 다이어프램 밸브(ALD7 시리즈)

혁신적일 정도로 일관성이 뛰어난 성능

Swagelok ALD7 초고순도 다이어프램 밸브는 스웨즈락이 50년 넘게 반도체 제조업체와 장비 제조업체를 지원해온 결과로 탄생한 원자층 증착(ALD) 밸브 기술의 최신 혁신작입니다. 이 고성능 반도체 밸브는 현재의 생산 공정 한계를 극복하는 데 필요한 유량 일관성, 유동 용량, 액추에이터 속도, 고온 성능을 제공함으로써 장비 제조업체와 칩 제조업체가 실현 가능한 칩 수율과 수익성을 높일 수 있도록 지원합니다.

탁월한 정밀도를 제공하도록 설계

더 빠른 응답 시간, 고온에서의 열 안정성, 강화된 내부식성을 특징으로 하는 ALD7은 초장기의 수명 주기 전반에서 모든 밸브, 투입량, 챔버마다 일관적인 성능을 제공합니다.

• ALD7은 가장 까다로운 ALD 애플리케이션에서도 수백만 회의 사이클에 걸쳐 정밀한 유량 공급이 가능합니다.
• 이 반도체 밸브에는 최신 액추에이터 기술이 적용되어 업계 표준 기술보다 훨씬 빠른 5 ms의 응답 시간으로 작동합니다
• 밸브 몸체를 최고 200°C까지 가열할 수 있으며, 그럼에도 공압 액추에이터는 최대 작동 온도인 150°C 아래로 유지됩니다
• 밸브 몸체가 특허 기술인 초고순도 Swagelok 316L VIM-VAR 스테인리스강으로 제조되는 ALD7은 부식성 기체에 대한 내성을 제공합니다

더 높은 성능. 재작업 필요성 최소화.

ALD7은 기존 반도체 밸브보다 높은 유량을 제공하면서도 점유 공간(footprint)은 같습니다. 이와 같은 컴팩트한 디자인으로 반도체 제조업체가 공정을 크게 개조하지 않으면서 기존 장비의 생산성을 업그레이드할 수 있습니다.

• 표준 ALD7은 최대 0.7의 유량 계수(C_v)를 제공할 수 있으며 각 챔버마다 정밀하고 반복 가능한 투입을 지원합니다. 옵션 맞춤형(출고 시 설정) 버전도 선택 가능하며 이는 0.5–0.7 C_v의 유량 계수를 제공할 수 있습니다
• ALD7는 Swagelok 산업 표준 ALD 밸브와 같은 1.5 인치의 점유 공간(footprint)을 유지합니다
• 이 밸브에는 통합형 단열재가 적용되어 밸브 외형이 짧으며, 따라서 시스템 설계자가 반응 챔버 근처의 제한적인 공간을 최대한 활용할 수 있습니다

사양