스웨즈락^® 압력 게이지, 초고순도 및 크린 드라이 에어용

스웨즈락 초고순도 및 크린 드라이 에어 압력 게이지는 시스템 양압과 진공을 모니터링하기 위해 보돈(Bourdon) 튜브를 사용한 것이 특징입니다.

PGU 시리즈 및 PGC 시리즈 압력 게이지는 벌크 가스 분배부터 공정 도구 애플리케이션까지 다양한 애플리케이션에 사용하도록 설계되었습니다. 이 게이지의 정확도는 ASME B40.1을 따르며 50mm(2인치)의 다이얼 크기, ±해당 범위의 2%/1%/2%(ASME B40.1, A등급, EN 837-1 클래스 2.5, JIS B7505 클래스 2.5) 및 40mm(1 1/2인치), ±해당 범위의 3%/2%/3%(ASME B40.1, B등급, EN 837-1 클래스 4, JIS B7505 클래스 4)를 사용할 수 있습니다.

PGU 시리즈 게이지는 SEMI/SEMATECH에 따라 반도체 가스 애플리케이션에 대해 UHP “클린”이고, 클래스 100/10 클린룸에서 세정 및 포장되며, 316L VAR 연결구가 장착되어 있습니다.

PGC 시리즈 게이지는 클래스 100 클린룸에서 조립, 세정 및 포장되며 1/4인치의 NPT 연결구가 장착되어 있습니다.

사양

다이얼 범위	PGU 시리즈: 진공 ~3000psi; 200bar; 12MPa PGC 시리즈: 진공 ~6000psi, 400bar; 40MPa
다이얼 크기	40mm 및 50mm(1 1/2인치 및 2인치)
정확도	ASME B40.100, EN837-1 및 JIS B7505에 따름
온도 범위
대기온도	–40~140°F(–40~60°C)
매체	–40~212°F(–40~100°C)
연결구
PGU 시리즈	1/4인치 암나사 VCR^®, 1/4인치 회전형 수나사 VCR, 1/4인치 일체형 수나사 VCR, 1.5 인치 통과형 표면 마운트
PGC 시리즈	1/4인치 수나사 NPT
검사 및 교정	모든 초고순도 및 클린 드라이 에어 게이지는 100% 공장에서 교정되며 최대 1× 10-9 std cm³/초의 비율에서 헬륨 누설 테스트를 거칩니다.