Клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом (серия ALD20)
Клапаны Swagelok серии ALD20 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают более высокую пропускную способность, чем другие клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD), позволяя пользователям экспериментировать с газовыми прекурсорами с низким давлением парообразования в техпроцессах ALD.
Запросить дополнительную информациюСоздание условий для технологий будущего
Клапан ALD20 обеспечивает надежность и производительность, которые клиенты ожидают от клапанов Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD), а также недоступные ранее температурную стабильность и значения расхода. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологий сегодня и в будущем.
Улучшенный расход. Минимальная занимаемая площадь.
Клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты разработан специально для расширения границ применения клапанной технологии атомно-слоевого осаждения (ALD) и обеспечивает уровень расхода в два–три раза выше по сравнению с возможностями старых клапанов ALD. Это дает производителям полупроводниковых микросхем потенциал не только улучшить выходные характеристики и повысить эффективность, но и сделать это без существенного изменения технологических процессов.
- Клапан ALD20 способен обеспечить расход Cv 1,2 при той же занимаемой площади (1,5 дюйма), что и существующие клапаны ALD, предоставляя улучшенные рабочие характеристики без необходимости переоснащения существующего оборудования
- Второй стандартный вариант исполнения клапана ALD20, занимающий немного больше места по ширине (1,75 дюйма), может обеспечить еще более высокий коэффициент расхода 1,7 — самый высокий показатель, достижимый в настоящее время для клапанов сверхвысокой степени частоты и сверхвысокого циклического срока службы
- Также предлагается возможность настройки коэффициентов расхода по усмотрению клиента
Бескомпромиссное постоянство качества
Конструкция клапана ALD20 способствует стабильной работе в течение сверхвысокого циклического срока службы благодаря нескольким ключевым особенностям.
- Весь клапан и привод полностью погружены в газовую камеру при температуре от 50 °F (10 °C) до 392 °F (200 °C), что исключает необходимость изолировать привод во время нагрева. В результате улучшается единообразие осаждения, поскольку газы с низким давлением пара находятся при температурах, способствующих оптимальному расходу
- Варианты исполнения корпуса из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22 обеспечивают повышенную стойкость к коррозии в средах с повышенной агрессивностью
- Сильфон с зеркальной полировкой со средней шероховатостью Ra 5 микродюймов обеспечивает чистую работу в течение сверхвысокого циклического срока службы для обеспечения целостности технологического процесса
- Пневматический привод может обеспечить высокую скорость (< 10 мс) повторяемых переключений для обеспечения прецизионного единообразного расхода в целях удовлетворения требований дозировки
Технические характеристики
| Рабочее давление | От вакуума до 20 фунтов на кв. дюйм, ман. (1,4 бара) |
| Давление разрыва | > 3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар) |
| Давление срабатывания | От 70 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,9 до 6,2 бара) |
| Температура | От 50 до 392 °F (от 10 до 200 °C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 1,2 (модульный монтаж на поверхность) или 1,7 (прямая конфигурация) |
| Материалы корпуса | 316L VIM-VAR или сплав 22 |
| Материал сильфона | Сплав 22 (средняя шероховатость Ra 5 микродюймов) |
| Торцевые соединения | |
| Тип (размер) | Фитинг с торцевым уплотнением VCR® с внутренней резьбой (1/2 дюйма) Фитинг с торцевым уплотнением VCR с наружной резьбой с накидной гайкой (1/2 дюйма) Соединение под приварку встык, длина 0,50 дюйма (1/2 x 0,049 дюйма) Модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (1,5 дюйма) |
Каталоги клапанов серии ALD20
Получите подробную информацию о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
Один новый клапан — и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии производства клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD) меняют условия игры в сфере высокотехнологичного производства полупроводников.
Узнайте больше о периодической таблицеРесурсы Swagelok специально для вас
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью специализированных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании обойти конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей
Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.