Válvulas de Diafragma Swagelok® de Ultra Alta Pureza para Proceso de Capas Atómicas (Series ALD3 y ALD6)
Las válvulas de diafragma Swagelok series ALD3 y ALD6 se utilizan en las herramientas de fabricación de semiconductores para conseguir la dosificación controlada necesaria para el proceso de deposición de capas atómicas (ALD). Tienen un ciclo de vida útil ultra largo, actuación a alta velocidad y coeficientes de caudal de hasta 0,62.
Más Información sobre Válvulas ALDLas válvulas de diafragma Swagelok® ALD3 y Swagelok® ALD6 de ultra alta pureza están diseñadas para ofrecer a los fabricantes de semiconductores una dosificación fiable y de alta velocidad de los gases precursores utilizados para construir microchips capa a capa en las cámaras de deposición. Estas válvulas de ultra alta pureza y alto rendimiento tienen un ciclo de vida útil ultra largo, son totalmente sumergibles a temperaturas elevadas e idóneas para las aplicaciones de ultra alta pureza.
Los diafragmas utilizados en las válvulas ALD3 y ALD6 están compuestos por un material de superaleación a base de cobalto que ofrece solidez y resistencia a la corrosión. El cuerpo de las válvulas es de acero inoxidable 316L VIM-VAR, lo que las hace perfectas para aplicaciones de ultra alta pureza. Los asientos de las válvulas están hechos de PFA fluorado de ultra alta pureza para permitir un amplio rango de compatibilidad química y resistencia a la deformación y la contaminación. Estas válvulas pueden ser configuradas para actuación neumática normalmente cerrada y normalmente abierta, y están disponibles en una variedad de configuraciones para adaptarse a diferentes requisitos de instalación.
Vea Cómo las Válvulas ALD Mejoran la Fabricación de Semiconductores
Especificaciones de las Válvulas ALD3 y ALD6
| Presión de Servicio | Vacío hasta 10,0 bar (145 psig) |
| Presión de Rotura | > 220 bar (3200 psig) |
| Presión de Actuación | 3,5 a 6,2 bar (50 a 90 psig) |
| Temperatura | 0 a 200°C (32 a 392°F) |
| Coeficiente de Caudal (Cv) | 0,27 o 0,62 |
| Materiales del Cuerpo | Acero inoxidable 316L VIM-VAR |
| Material del Diafragma | Super aleación con base de cobalto |
| Conexiones Finales | Tipo (Tamaño): Accesorio de cierre frontal VCR® hembra (1/4 pulg. a 1/2 pulg.), accesorio de cierre frontal VCR macho (1/4 pulg. a 1/2 pulg.), montaje modular superficial de alto caudal con junta C (1,125 pulg. a 1,5 pulg.) |
¿Tiene alguna pregunta sobre las válvulas ALD?
Catálogos de Válvulas Series ALD3 y ALD6
Encuentre información detallada de producto, incluidos materiales de construcción, valores nominales de presión y temperatura, las opciones y los accesorios.
Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit; Cv-Bereich von 0,27 bis 0,62; Mit Hochtemperatursteuerköpfen einsetzbar bis 200°C (392°F); Optionaler elektronischer Steuerkopf-Stellungsmelder; Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR; VCR®, Stumpfschweißenden und modulare Bauteile für Flächenbefestigung
Mejorar el Rendimiento de los Semiconductores con Aleaciones Optimizadas
Vea cómo los fabricantes de semiconductores pueden mejorar el rendimiento de la producción de extremo a extremo, y mejorar la rentabilidad a largo plazo mediante la selección de los metales adecuados para los componentes críticos de los sistemas de fluidos.
Conozca la Selección de MaterialesRecursos Swagelok Elaborados para Vd.
Una Nueva Válvula: Tres Razones por las que Podría Cambiar la Fabricación del Semiconductor
Descubra cómo la última innovación en la tecnología de válvulas de deposición de capas atómicas (ALD), está cambiando las cosas para los fabricantes de semiconductores de alta tecnología.
Q&A: Entwicklungen und Trends in der Halbleiterherstellung
In diesem Artikel beschäftigen wir uns damit, wie die Zusammenarbeit zwischen Herstellern von Halbleiter-Fertigungsanlagen, Chipproduzenten und Fluidsystemanbietern in der Halbleiterindustrie über Jahrzehnte hinweg dazu beigetragen hat, dass das Mooresche Gesetz eingehalten werden konnte. Zudem werfen wir einen Blick in die Zukunft dieser schnelllebigen Branche.
Hersteller für Glasfaserproduktionssysteme erhöht seine Effizienz durch maßgeschneiderte Lösungen für seine Kunden
Bereits seit den 1980er-Jahren setzt Rosendahl Nextrom auf die Zusammenarbeit mit Swagelok, um sich geschäftlich weiterzuentwickeln. Erfahren Sie mehr über die Lösungen, mit denen es der Firma gelungen ist, der Konkurrenz stets einen Schritt voraus zu sein und sich als Marktführer zu behaupten.
Zuverlässige Fluidsystemlösungen für die Wissenschaft
Erfahren Sie mehr darüber, warum sich das finnische Unternehmen Bluefors bei der Herstellung seiner Mischungskryostate für Anwendungen in den Bereichen Quantum-Computing und Experimentalphysik auf die Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok verlässt.