Swagelok® Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD)
Dank ihrer äußerst langen Lebensdauer, der sehr schnellen Auslösung, hohen Durchflussraten, der Fähigkeit zur Wärmeimmersion sowie ihrer herausragenden Sauberkeit sorgen die ultrahochreinen Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD) von Swagelok für eine präzise Dosierung und eine maximale Chipausbeute in der modernen Halbleiterfertigung.
Informationen zu ALD-Ventilen anfordernSeit Einführung der ALD-Ventiltechnologie arbeitet Swagelok eng mit OEMs und Halbleiterherstellern an der Weiterentwicklung von Dosierungslösungen für ALD-Prozesse – so helfen wir unseren Kunden dabei, mit dem rasanten Innovationstempo Schritt zu halten, Entwicklungszeiten zu verkürzen und die Chipausbeute in zunehmend komplexeren Prozessen zu optimieren. Alle ALD-Ventile im Produktportfolio von Swagelok® bieten die Präzision, Konsistenz, Sauberkeit und extrem hohe Lebensdauer, die für eine zuverlässige Leistung in anspruchsvollen Anwendungen unumgänglich ist.
Unsere Ventile sind auf eine präzise Durchflussregelung, schnelle Betätigung und hohe Temperaturbeständigkeit ausgelegt. Sie reduzieren Schwankungen in der Dosierung und tragen so zu einer höheren Wafer-Ausbeute sowie schnelleren Entwicklungszyklen bei – damit unsere Kunden die Technologien der nächsten Generation schneller auf den Markt bringen können.
Vorteile unserer ultrahochreinen ALD-Ventile:
- Äußerst lange Lebensdauer mit hohen Stellgeschwindigkeiten
- Durchflusskoeffizienten von 0,27 Cv bis 1,7 Cv
- Temperaturbeständig bis 250 °C (482 °F) bei bestimmten Modellen
- Optionale Einstellung der Durchflussleistung direkt vor Ort
- Elektronische oder optische Stellungssensoren für Stellantriebe optional verfügbar
- Geeignet für ultrahochreine Anwendungen; wahlweise aus Edelstahl 316L VIM-VAR oder Legierung 22 gefertigt
- Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißfitting und VCR®-Endanschlüsse verfügbar
- Als Einzelkörper oder als additiv gefertigte Verteilerbaugruppe erhältlich
Wie das richtige ALD-Ventil zu einer verbesserten Prozesssteuerung beiträgt
ALD-Ventile – Kategorien
Ultrahochreine Membranventile - Serien ALD3 und ALD6
Die ALD3- und ALD6-Membranventile bieten eine extrem hohe Lebensdauer, schnelle Betätigung und hohe Leistung bei der Atomlagenabscheidung.
Ultrahochreine Membranventile für Anwendungen mit hohem Durchfluss, Serie ALD20
Das fortschrittliche, ultrahochreine ALD20-Ventil bietet 2–3 mal höhere Durchflussraten als andere ALD-Ventile.
Ultrahochreine Membranventile, Serie ALD7A
Das ALD7A-Membranventil von Swagelok für ultrahochreine Anwendungen bietet präzise und konsistente Ergebnisse für eine maximale Chipausbeute in der Halbleiterfertigung.
Ultrahochreine Membranventile, Serie ALD7C
Die ultrahochreinen ALD7C-Membranventile von Swagelok bieten eine hohe Leistung, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit für hochkomplexe ALD-Anwendungen.
ALD-Ventile – Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.
Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit; Cv-Bereich von 0,27 bis 0,62; Mit Hochtemperatursteuerköpfen einsetzbar bis 200°C (392°F); Optionaler elektronischer Steuerkopf-Stellungsmelder; Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR; VCR®, Stumpfschweißenden und modulare Bauteile für Flächenbefestigung
Einsatz neuer Vorprodukte mit optimierten Ventilen
Halbleiter-Vorprodukte der nächsten Generation bringen neue Herausforderungen in der Fertigung mit sich Mit einer optimierten Systemauslegung sowie der ALD-Ventiltechnologie sind Sie perfekt aufgestellt.
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