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манометры сверхчистых сред и чистого сухого воздуха

Swagelok®超高純度用/クリーン・ドライ・エアー用圧力計

Swagelok超高純度用/クリーン・ドライ・エラー用圧力計は、ブルドン管を使用してシステムの正圧および真空のモニタリングを行います。

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PGUシリーズとPGCシリーズの圧力計は、バルク・ガス供給から半導体デバイス製造装置にいたるまで幅広い用途に対応します。精度はASME B40.1に準拠しています。50 mm目盛板の場合はフルスケールの±2%、±1%、±2%(JIS B7505の2.5級、ASME B40.100グレードA、EN 837-1クラス2.5)、40 mm目盛板の場合はフルスケールの±3%、±2%、±3%(JIS B7505 の4.0級、ASME B40.100グレードB、EN 837-1クラス4)です。

PGUシリーズ圧力計は半導体ガス・アプリケーション向けの超高純度「クリーン」で、SEMI/SEMATECHに準拠しています。クラス100/10のクリーンルームでクリーニングとパッケージングを行っており、エンド・コネクションは316L VARステンレス鋼製です。

PGCシリーズ圧力計は、クラス100のクリーンルームで組み立て、クリーニング、パッケージングが行われており、エンド・コネクションは1/4 インチ・サイズのNPTねじです。

仕様

目盛範囲 真空~21 MPa
目盛板の外径サイズ 40 mm、50 mm
精度 ASME B40.100、EN837-1、JIS B7505に準拠
使用温度範囲
周囲温度 –40~60°C
測定流体温度 –40~100°C
エンド・コネクション
PGUシリーズ 1/4 インチ・サイズめすVCR®継手、1/4 インチ・サイズ回転可能型おすVCR継手、1/4 インチ・サイズ一体型おすVCR継手、 1.5インチ・フロー・スルー型、サーフェス・マウント型(IGC® II互換可能)
PGCシリーズ 1/4 インチ・サイズNPTおねじ
テスト/校正 工場にて校正およびヘリウム・リーク・テスト(最大許容リーク・レート:1×10-9 std cm3/s)を全品に行っています。

圧力計のカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

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