Swagelok®圧力計、超高純度用／クリーン・ドライ・エアー用（PGU／PGCシリーズ）
Swagelok®超高純度用／クリーン・ドライ・エラー用圧力計は、ブルドン管を使用してシステムの正圧および真空のモニタリングを行います。
圧力計について問い合わせるSwagelok®超高純度用圧力計PGUシリーズおよびクリーン・ドライ・エアー用圧力計PGCシリーズは、バルク・ガス供給 からプロセス・ツール・アプリケーションに至るまで、幅広いアプリケーションに使用することができます。精度はASME B40.1、EN837-1、JIS B7505に準拠しています。
PGUシリーズ圧力計は半導体ガス・アプリケーション向けの超高純度「クリーン」で、SEMI/SEMATECHに準拠しています。クラス100/10のクリーンルームでクリーニングおよびパッケージングを行っており、エンド・コネクションは316L VARステンレス鋼製です。PGCシリーズ圧力計は、クラス100のクリーンルームで組み立て、クリーニング、パッケージングを行っています。エンド・コネクションは、1/4 インチ・サイズNPTねじです。両シリーズの圧力計とも窒素でパージを行い、ねじ接続部分に保護キャップを取り付けています。工場にて校正およびヘリウム・リーク・テスト（最大許容リーク・レート：1× 10-9 std cm3/s）を全品に行っています。
仕様
| 目盛範囲 | PGUシリーズ：真空～21 MPa PGCシリーズ：真空～40 MPa |
| 目盛板の外径サイズ | 28mm、40 mm、50 mm |
| 精度 |
|
| 使用温度範囲 | 周囲温度：–40～60°C 測定流体温度：–40～100°C |
| エンド・コネクション | PGUシリーズ：1/4 インチ・サイズめすVCR®継手、1/4 インチ・サイズ回転可能型おすVCR継手、1/4 インチ・サイズ一体型おすVCR継手、 1.5インチ・フロー・スルー型、サーフェス・マウント型 PGCシリーズ：1/4 インチ・サイズNPTおねじ |
圧力計のカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
■ 目盛板の外径サイズ： 40 mm、50 mm／■ ASME B40.100に準拠した精度／■ エンド・コネクションの材質：316L VAR ステンレス鋼（PGUシリーズ）／■ 形状：背面取り付け用（センター接続）、下部取り付け用
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