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Swagelok^®ダイヤフラム・バルブ

Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのシステム要件に適合します。

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Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのニーズに適合します。流量係数（C_v値）は0.20～13です。流路から障害物を一掃したデザインおよび耐食性に優れた構造を採用しているため、清浄度が重要なアプリケーションに適しています。アクチュエーターは手動式、空気式、ロッキング・ハンドルから選ぶことができます。

ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着（ALD）用、大流量用、集積化ガス・システム用、サーマル・イマージョン用やフルオロポリマー製があり、超高純度のさまざまなアプリケーションに適しています。

Swagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ（集積化ガス・システム用）は取り付けが容易で、流れの方向を一目で確認することができます。熱安定性を向上させるシート設計を採用しています。
Swagelokダイヤフラム・バルブ（バルク・ガス供給用）は、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなアプリケーションに対応することができます。
Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、高温／高純度環境において完全に封止することができるため、原子層蒸着（ALD）やプリカーサー供給アプリケーションに適しています。
Swagelok超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。

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ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DEシリーズ 1.125 インチ集積サイズ集積化ガス・システム用

■ 1.125 インチ集積サイズのCシール／Wシール・デザイン／■ 形状：2 ポート／3ポート／■ アクチュエーター作動型式：空気式／手動式／■ ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能／■ 二次側のボディの角を面取りしているため、流れの方向が一目で確認可能

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Thermal-Immersion Diaphragm Valves DH Series

Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.

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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ

■ 空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4 回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー）／■ 接液・接ガス部の材質：次世代PTFE／アクチュエーターの材質：ポリプロピレン／■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合／■ 標準のエンド・コネクション：フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング／Flowell（フロウエル）、スペース・セーバーなど／その他のエンド・コネクションもございます／■ カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます

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ダイヤフラム・バルブ DLシリーズ DSシリーズ

■ パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属／■ 使用圧力範囲：真空から24.1 MPaまで／■ 使用温度範囲：273℃から121℃まで

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スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DPシリーズ

■ 超高純度用／■ ボディ材質：316L VIM-VAR ステンレス鋼／■ モデル：低圧型、高圧型／■ エンド・コネクション・タイプ：VCR® メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル／■ アクチュエーター・タイプ：手動式、空気式

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ダイヤフラム・バルブ LDシリーズ

■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用／■ ボディ材質：ステンレス鋼（鋳造製／鍛造製／バー・ストック製）／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mmから25 mmまで

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大流量用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DFシリーズ

■ ボディ材質：316L VAR ステンレス鋼／■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチ、3/8 インチ、1/2 インチ、10 mm、12 mm