Swagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ、原子層プロセス用（ALD7シリーズ）
Swagelok超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズは、新規または既存の半導体製造装置のスループットを最大化するのに必要な一貫した流量、開閉スピード、使用温度範囲、クレンリネス（清浄度）を備えています。
ALD7シリーズ・バルブについて問い合わせる原子層蒸着（ALD）向けのSwagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズを使用すると、半導体製造装置メーカー やデバイス・メーカーは、製造工程の限界を克服するのに必要な一貫した流量、大流量、開閉スピード、高温性能を実現し、デバイスの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。非常に優れたサイクル・ライフで、バルブ間、プリカーサーの供給間、チャンバー間で一貫したパフォーマンスを発揮します。
ALD7シリーズ・バルブの特徴：
- 非常に過酷なアプリケーションにおいても、数百万サイクルにわたる迅速かつ正確な供給を実現し、応答時間が最速で5msと優れたアクチュエーター・テクノロジーを採用
- バルブ・ボディ材質は、スウェージロック独自の超高純度用316L VIM-VARステンレス鋼で、腐食性ガスに対する耐性に優れる
- アクチュエーター部は最高使用温度150°Cに対応し、バルブは最高200°Cまで使用可能
- 最大0.7の流量係数（Cv値）を実現［カスタム（工場設定）バージョン（オプション）の場合、流量係数は0.5～0.7 Cv］
- スウェージロックの業界標準ALDバルブと同じフットプリントながら、断熱機能を内蔵したことで反応チャンバー近くの限られたスペースを最大限に活用することが可能
仕様
| 使用圧力範囲 | 真空～1.0 MPa |
| 破裂時 | >22.0 MPa |
| 操作時 | 0.41～0.83 MPa |
| 使用温度範囲 | 標準のバルブ･ボディ：0～200°C |
| 流量係数（Cv値） | 0.7（標準、工場設定） |
| ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
| ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
| エンド・コネクション・タイプ | VCR®面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル大流量用Cシール（1.5 インチ） |
ALDバルブに関して質問がありますか？
Ventile der Serie ALD7—Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Wie Sie Herausforderungen bei der Halbleiterherstellung mittels ALD und ALE meistern
Die Fertigungsprozesse von Halbleitern mittels ALD und ALE sind mit inhärenten Herausforderungen und Komplexitäten verbunden. Erfahren Sie, wie Sie diese durch Auswahl der geeigneten Prozessventile erfolgreich meistern können.
Wählen Sie die richtigen Ventile für ALD-HerausforderungenSwagelok-Ressourcen für Sie zusammengestellt
Verbessern Sie Ihre Halbleiterproduktion durch den Einsatz optimierter Legierungen
Erfahren Sie, wie Halbleiterhersteller ihre Produktionsausbeute und Profitabilität durch Auswahl der passenden Werkstoffe für wichtige Fluidsystemkomponenten langfristig optimieren.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
Reliable Fluid System Solutions for the Scientific Frontier
Learn why Finnish dilution refrigerator manufacturer Bluefors trusts Swagelok for fluid system components and solutions that help enable quantum computing, experimental physics, and more.