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원자층 증착 (ALD) 용 다이어프램 밸브 고속 개폐 시에도 매우 긴 수명 유지 ; Cv 범위 0.27 ~ 0.62; 고온용 개폐기로 200°C (392°F)까지 사용가능; 전자 개폐기 위치 감지 옵션; 초고순도 사양에 적합한 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체; VCR®, 튜브 맞대기 용접 및 블럭 조립식 연결구

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LD 시리즈 최대 사용 압력 300 psig (20.6 bar) 일반 차단 기능, 벌크 가스 분배 및 차단 서비스 주조, 단조 및 바 스톡 스텐레스강 몸체 재질 1/4 ~ 1 in. 및 12 ~ 25 mm 연결구

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DRP 시리즈 공기작동식 및 1/4 회전 수동식 2-방향 및 3-방향 모델; 공기 작동식 및 유량 조절과 바이패스가 가능한 수동식 모델 유체가 접촉되는 부위는 DuPont® Teflon® 개선된 PTFE 및 폴리프로필렌 개폐기 초고순도 시스템 부품에 적용되는 SEMI 표준 F57-0301 준수 확관형 및 Nippon Pillar® Super 300 연결구가 기본형; Flowell, space saver 및 기타 연결구 제공 가능 주문자 요청에 의한 매니폴드 및 부분 조립품 제공 가능

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스테인리스강, 탄소강, 듀플렉스 스테인리스강 재질; 구성 선택에 따라 ASME B16.5 및 ASME B16.34를 준수하는 압력 등급; ASME B16.5와 호환되는 플랜지 연결구; 3/8~2인치(9.5~49 mm)의 볼 밸브 구경 크기

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FW, F 및 TF 시리즈; 시스템에서 유입되는 미세 오염 물질 제거; 기체 및 액체 사용 가능; 1/8 ~ 1/2 in. 및 3 ~ 12 mm 연결구; 스텐레스강 및 황동 재질

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범위 이 문서에서는 Swagelok및 관련 공급자가 ASTM G93 레벨 C에 언급된 제품 청정도 요건을 준수하기 위해 사용하는 가이드라인을 설명합니다. 이 문서는 유체가 접촉되는 시스템 부품에만 한정적으로 적용됩니다. 이 문서는 제품 카탈로그, 기술 보고서 및 기타 보고서들과 함께 이용해야 합니다.

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특징: Membralox® 세라믹 여과 기술; 정품 Swagelok® VCR® 면 봉인 피팅; 최대 유량에서 0.003µm에 99.9999999%보다 큼; 2700std L/분까지의 유량

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제품; Snoop누설 검사액; Goop™ 나사 윤활제; SWAK, 테프론 테이프 및 PTFE 가 포함되지 않은 파이프 나사 밀폐제

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1/16 in. 부터 1 in. 및 6 mm 에서 18 mm; 고순도 스텐레스강; 최초로 설계된 진정한 VCR 제품

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1/8 ~ 1 in. 크기; 316 또는 316L 스텐레스강; 튜브, NPT, SAE 나사 및 용접 연결

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