Swagelok^®超高純度用バルブ（大流量原子層蒸着プロセス・アプリケーション用）（ALD20シリーズ）

Swagelok超高純度用バルブ ALD20シリーズは、低蒸発圧プリカーサー・ガスを必要とする原子層蒸着プロセスに適した大流量用バルブです。

Swagelok^®超高純度用バルブ（大流量用） ALD20シリーズは、ALDバルブに求められている信頼性および性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性および流量も達成しています。このため、メーカーは大幅な工程変更を行うことなく、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現するため、さまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試すことができます。

Swagelok ALD20シリーズ・バルブの特徴：

1.2の流量係数（C_v値）を実現しながら、フットプリントは既存のALDバルブと同じ1.5 インチ・サイズのため、既存装置を改造することなくパフォーマンスの改善を実現します。
フットプリントが1.75 インチ・サイズの標準ALD20バルブは、流量係数（C_v値）が1.7とさらに増えています。これは現在サイクル・ライフに優れた超高純度用バルブの中では最高の値です。
アクチュエーター部分を含めバルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することができます（使用温度範囲：10～200°C）。加熱中にアクチュエーターを隔離する必要がなく、蒸着の安定性が向上します。
バルブ・ボディの材質に316L VIM-VARステンレス鋼または合金22を採用しており、耐食性に優れています。
高度な研磨を施したベローズ（表面粗さ：0.13 μm仕上げ）は、超高サイクル・ライフにおいてもクリーンなオペレーションを支え、プロセスの完全性を維持します。
エアー・アクチュエーターは高速（<10 ms）で繰り返し作動し、正確かつ一貫した流量を実現し、供給要件を満たします。

流量係数（C_v値）のカスタム設定も可能です。

ALD20バルブで半導体プロセスの課題を克服する

仕様

使用圧力範囲	真空～0.14 MPa
破裂時	>22.0 MPa
操作時	0.49～0.62 MPa
使用温度範囲	10～200°C
流量係数（C_v値）	1.2（集積モデル）または1.7（ストレート型）
ボディ材質	316L VIM-VARステンレス鋼または合金22
ベローズ材質	合金22（表面粗さ：0.13 μm仕上げ）
エンド・コネクション・タイプ（サイズ）	めすVCR^®面シール継手（1/2 インチ）、回転可能型おすVCR継手（1/2 インチ）、チューブ突き合わせ溶接、長さ：12.7 mm（1/2 インチ X 肉厚1.24 mm）、集積モデル大流量用Cシール（1.5 インチ）

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ALD20シリーズ・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

Ultrahigh-Purity Valves for Atomic Layer Processing, ALD, Diaphragm and Bellows Valves

ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available

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