Válvulas de Diafragma Swagelok® de Alto Caudal y Ultra Alta Pureza para Aplicaciones de Procesos de Capas Atómicas (Serie ALD20)
Las válvulas Swagelok ALD20 de ultra alta pureza tienen una gran capacidad de caudal, ideal para procesos de deposición de capas atómicas que requieren gases precursores a baja presión de vapor.
Solicite Información sobre la Válvula ALD20La válvula de alto caudal Swagelok® ALD20 de ultra alta pureza ofrece la fiabilidad y el rendimiento esperados de las válvulas ALD Swagelok®, a la vez que permite una estabilidad de temperatura y unas posibilidades de caudal antes inalcanzables. Permite a los fabricantes experimentar con diferentes procesos y productos químicos de baja presión de vapor, a fin de conseguir la deposición uniforme de gas necesaria para desarrollar la tecnología avanzada sin cambiar significativamente el proceso.
La válvula Swagelok ALD20, puede:
- Suministrar un caudal de 1,2 Cv con el mismo tamaño (1,5 pulg.) que las válvulas ALD existentes, ofreciendo un rendimiento mejorado sin necesidad de modificar la instalación.
- Suministrar un caudal aún mayor de 1,7 Cv con una variante estándar ligeramente más grande (1,75 pulg.)—el caudal más alto disponible actualmente para una válvula de ultra alta pureza y ciclo de vida útil ultra alto
- Estar sumergida en una caja de gas desde 10°C (50°F) hasta 200°C (392°F), eliminando la necesidad de aislar el actuador durante el caldeado y mejorando la consistencia de la deposición.
- Trabajar con una mayor resistencia a la corrosión con las opciones de cuerpo de acero inoxidable 316L VIM-VAR o aleación 22
- Apoyar la operación limpia a lo largo de un ciclo de vida útil ultra-alto para mayor integridad del proceso gracias a un fuelle altamente pulido con un acabado de 5 μpulg. Ra.
- Actuar repetidamente a alta velocidad (<10 ms) para obtener un caudal preciso y constante que cumpla los requisitos de dosificación.
También hay disponibles coeficientes de caudal personalizados
Vea Cómo la Válvula ALD20 Ayuda a Superar los Obstáculos del Procesado de Semiconductores
Especificaciones de la Válvula ALD20
| Presión de Servicio | Vacío hasta 1,4 bar (20 psig) |
| Presión de Rotura | > 220 bar (3200 psig) |
| Presión de Actuación | 4,9 a 6,2 bar (70 a 90 psig) |
| Temperatura | 10 a 200°C (50 a 392°F) |
| Coeficiente de Caudal (Cv) | 1,2 (MSM) o 1,7 (modelo recto) |
| Materiales del Cuerpo | 316L VIM-VAR o Aleación 22 |
| Material del Fuelle | Aleación 22 (Acabado a 5 μpulg. Ra de rugosidad media) |
| Conexiones Finales | Tipo (Tamaño): Accesorio Swagelok VCR hembra® (1/2 pulg), accesorio VCR macho giratorio (1/2 pulg), soldadura de tubo a tope de longitud de 0,50 pulg (1/2 pulg × 0,049 pulg), montaje modular superficial de alto caudal (1,5 pulg) con junta en C. |
¿Necesita ayuda para seleccionar una ALD?
Catálogos de Válvulas Series ALD20
Encuentre información detallada de producto, incluidos materiales de construcción, valores nominales de presión y temperatura, las opciones y los accesorios.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Una Nueva Válvula: Tres Razones por las que Podría Cambiar la Fabricación del Semiconductor
Descubra cómo la última innovación en la tecnología de válvulas de deposición de capas atómicas (ALD), está cambiando las cosas para los fabricantes de semiconductores de alta tecnología.
Descubra Más Cosas de la Tabla Periódica고객별 맞춤 선별 Swagelok 리소스
최적의 합금으로 반도체 수율 향상
반도체 제조업체가 어떻게 하면 핵심 유체 시스템 부품에 적절한 합금을 선택하여 종합적인 생산 수율과 장기 수익성을 높일 수 있는지 알아보십시오.
Q&A: 반도체 제조의 과거와 현재, 그리고 미래
반도체 장비 OEM, 마이크로칩 제조업체, 유체 시스템 솔루션 제공업체가 어떻게 지난 몇십 년 동안 협력을 통해 반도체 시장이 무어의 법칙에 따른 수요를 충족하도록 해왔으며, 이제부터는 어떻게 해야 할 것인지 알아보십시오.
光ファイバー装置メーカー、カスタマイズされたソリューションで効率アップを実現
ローゼンダール・ネクストロム社は、1980年代からスウェージロックのサポートを受けて、ビジネスを推進してきました。競合他社とは一線を画し、業界のトップを走り続けるローゼンダール・ネクストロム社のソリューション事例を紹介します。
最先端科学で信頼できる流体システム・ソリューション
フィンランドの希釈冷凍機メーカーであるブルーフォース社が、量子コンピューターや実験物理学などに欠かせない流体システム部品やソリューションに関して、スウェージロックに信頼を寄せている理由を紹介します。