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Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ、DHシリーズ

Swagelok®サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ(DHシリーズ)

Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは高速での開閉が可能で、高温プロセスで最適なパフォーマンスを発揮します。

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Swagelok®サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは、原子層蒸着(ALD) やプリカーサー供給用途など、高温/高純度環境でバルブを完全に組み込む必要のあるアプリケーションに適しています。完全に組み込まれた高純度PFA製シートは幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。ボディの流路から障害物を一掃しているため、たまり部を最小限に抑え、大流量を実現しています。

流量係数(Cv値)は最大0.60、エンド・コネクション(サイズ:1/4 インチ、3/8 インチ)が豊富で、アクチュエーターは空気作動式と手動式があるなど、幅広いシステムのニーズに対応可能です。ノーマル・クローズ型のアクチュエーターは5 ms未満でバルブを開閉することができます。バルブは、220°Cで最適なパフォーマンスを発揮します。

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サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

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