Swagelok® 원자층 가공용 초고순도 다이어프램 밸브(ALD3 및 ALD6 시리즈)
Swagelok ALD3 및 ALD6 시리즈 다이어프램 밸브는 반도체 제조 장비에 사용되어 원자층 증착(ALD) 가공에 필요한 투입량 제어 기능을 제공합니다. 이 제품은 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 최고 0.62의 유량 계수를 제공합니다.
ALD 밸브 정보 요청초고순도 Swagelok® ALD3 및 Swagelok® ALD6 다이어프램 밸브는 반도체 제조업체에 증착 챔버에서 적층(LBL, layer by layer)으로 마이크로칩을 만드는 데 사용되는 프리커서 가스의 신뢰성 높은 고속 투입 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 고성능 초고순도 밸브는 극도로 높은 사이클 수명, 고온에서 완전 봉입 기능, 초고순도 애플리케이션 적합성이 특징입니다.
ALD3 및 ALD6 밸브에 사용되는 다이어프램은 뛰어난 강도와 내식성을 제공하는 코발트 초합금 재질로 구성되어 있습니다. 또한, 밸브 몸체는 316L VIM-VAR 스테인리스강이므로, 초고순도 애플리케이션에 적합합니다. 밸브 시트는 불화(Fluorinated) 고순도 PFA로 제조되므로 광범위한 화학적 호환성, 스웰링과 오염에 대한 내성을 제공합니다. 이 밸브는 평상시 닫힘 및 평상시 열림 공압 작동 방식으로 설정할 수 있으며, 서로 다른 설치 조건에 적합하도록 다양한 구성으로 공급 가능합니다.
ALD 밸브가 반도체 제조 환경을 어떻게 개선하는지 알아보십시오
ALD3 및 ALD6 밸브 사양
| 사용 압력 | 진공~145 psig(10.0 bar) |
| 파열 압력 | >3200 psig(220 bar) |
| 작동 압력 | 50~90 psig(3.5~6.2 bar) |
| 온도 | 0°~200°C(32°~392°F) |
| 유량 계수(Cv) | 0.27 또는 0.62 |
| 몸체 재질 | 316L VIM-VAR 스테인리스강 |
| 다이어프램 재질 | 코발트 초합금 |
| 연결구 | 종류(크기): 암나사 VCR® 면 밀폐 피팅(1/4인치 대 1/2인치), 수나사 VCR 면 밀폐 피팅(1/4인치 대 1/2인치), 모듈 조립형 대유량 C-씰(1.125인치 대 1.5인치) |
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