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Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD)

Swagelok® Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD)

Dank ihrer äußerst langen Lebensdauer, der sehr schnellen Auslösung, hohen Durchflussraten, der Fähigkeit zur Wärmeimmersion sowie ihrer herausragenden Sauberkeit sorgen die ultrahochreinen Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD) von Swagelok für eine präzise Dosierung und eine maximale Chipausbeute in der modernen Halbleiterfertigung.

Informationen zu ALD-Ventilen anfordern

Seit Einführung der ALD-Ventiltechnologie arbeitet Swagelok zusammen mit Kunden aus der Halbleiterfertigung an neuen Lösungen, die mit den sich rasch ändernden Prozessanforderungen auf dem Markt Schritt halten können. Die fortschrittlichen ALD-Ventile überzeugen durch ein äußerst hohes Maß an Präzision, Konsistenz und Sauberkeit sowie eine lange Lebensdauer. ALD-Ventile von Swagelok® unterstützen effiziente Prozesse bei der Chipherstellung und helfen Ihnen, die mit der Atomlagenabscheidung verbundenen Herausforderungen zu meistern.

Vorteile unserer ultrahochreinen ALD-Ventile:

  • Äußerst lange Lebensdauer mit hohen Stellgeschwindigkeiten
  • Cv-Bereich von 0,27 bis 1,7
  • Temperaturbeständig bis 200 °C (392 °F) bei bestimmten Modellen
  • Elektronische oder optische Stellungssensoren für Stellantriebe optional verfügbar
  • Für ultrahochreine Anwendungen geeignet
  • Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißfitting und VCR®-Verbindungen

Erfahren Sie mehr darüber, wie Sie Herausforderungen bei der Halbleiterherstellung mit ALD-Ventilen meistern

Categorías de Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD)

Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza, Serie ALD7

Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza, Serie ALD7

La válvula de diafragma Swagelok® ALD7 de ultra alta pureza ofrece la precisión y consistencia necesarias para maximizar la producción de chips en las aplicaciones de fabricación de semiconductores.

Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza, Series ALD3 y ALD6

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Las válvulas de diafragma ALD3 y ALD6 ofrecen una larga vida útil, una actuación de alta velocidad y un gran rendimiento en aplicaciones de deposición de capas atómicas.
Válvulas de Ultra Alta Pureza para Aplicaciones de Alto Caudal, Serie ALD20

Válvulas de Ultra Alta Pureza para Aplicaciones de Alto Caudal, Serie ALD20

Tecnología avanzada de deposición de capas atómicas con caudales 2-3 veces superiores a los de otras válvulas ALD gracias a la válvula ALD20 de ultra alta pureza.

ALD-Ventile—Kataloge

Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.

Montage eines ALD20-UHP-Ventils von Swagelok für den Reinraumeinsatz in der Halbleiterindustrie

Kleines Ventil mit großer Wirkung: Warum ein neues Ventil die Halbleiterproduktion verändern könnte

Erfahren Sie mehr darüber, wie die neueste Innovation in der ALD-Ventiltechnologie neue Möglichkeiten für Hersteller modernster Halbleiter schafft.

Neue Elemente aus dem Periodensystem in der Halbleiterfertigung nutzen

고객별 맞춤 선별 Swagelok 리소스

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최적의 합금으로 반도체 수율 향상

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Carl White는 반도체 산업 공급망 내 다양한 분야에서 40년 가까이 종사했으며, 반도체 산업 발전의 과거와 현재, 미래에 대해 자신의 경험을 바탕으로 한 전망을 제시합니다.
Q&A: 반도체 제조의 과거와 현재, 그리고 미래

반도체 장비 OEM, 마이크로칩 제조업체, 유체 시스템 솔루션 제공업체가 어떻게 지난 몇십 년 동안 협력을 통해 반도체 시장이 무어의 법칙에 따른 수요를 충족하도록 해왔으며, 이제부터는 어떻게 해야 할 것인지 알아보십시오.

Rosendahl Nextrom과 Swagelok, 협력을 통해 운영 효율성 극대화
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로젠달 넥스트롬(Rosendahl Nextrom)은 1980년대부터 Swagelok에 의존하여 사업을 확장해왔습니다. 이 회사가 경쟁업체보다 앞서며 업계 리더 지위를 유지하도록 해준 솔루션에 대해 자세히 알아보십시오.

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첨단 과학 분야에 필요한 신뢰성 높은 유체 시스템 솔루션

핀란드의 희석 냉동기 제조업체인 블루포스(Bluefors)가 양자 컴퓨팅과 실험물리학 등을 구현하는 데 Swagelok의 유체 시스템 부품과 솔루션을 신뢰하는 이유를 소개합니다.

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