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ダイヤフラム・バルブ

Swagelok®ダイヤフラム・バルブ

ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着(ALD)用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。

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Swagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.

Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.

  • Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
  • Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
  • Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
  • Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems

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类别

备件和附件

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浏览优质阀门维护元件,了解隔膜密封阀备件和附件,包括隔膜和密封成套件、阀杆成套件和执行机构成套件。

多阀阀组

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查找带隔膜密封阀的多阀阀组。这些阀组专为实现可靠性能而设计,可提供高纯度和精确的流体控制。

大宗气体隔膜阀,LD 系列

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大流量应用大宗气体分配隔膜阀,专为满足超高纯关断、大宗气体分配和隔离应用需求而设计。

模块化气体系统用无弹簧隔膜阀,1.125 in,DE 系列

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可靠的增强型控制阀采用无弹簧设计,是模块化气体系统高效运行的理想之选。

热浸没型隔膜阀,DH 系列

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超高纯度关断隔膜阀,DP 系列

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查看超高纯关断隔膜阀,可配备直通型、手动执行、多孔口和集成执行机构的模块化表面安装 (MSM)。

超高纯度含氟聚合隔膜阀,DRP 系列

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使用全扫流道可尽可能地减少应力和流体污染,从而确保在 UHP 化学系统中的优良性能和使用寿命。

超高纯度高压隔膜阀,DPH 系列

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超高纯、高压隔膜阀提供各种尺寸、材料和配置,适用于各种应用。

超高纯度高流量隔膜阀,DF 系列

超高纯度高流量隔膜阀,DF 系列

使用大流量、无弹簧隔膜阀延长循环寿命。无弹簧或螺纹提高了清洁度,全扫流道增强了吹扫效果。

高纯度高压隔膜阀,DL 和 DS 系列

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了解具有重复关断功能,带全封闭软座阀杆头、标准底部和面板安装功能的高纯高压隔膜阀。

ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

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ダイヤフラム・バルブ

Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っており、高純度用途/超高純度(UHP)用途でのニーズを満たします。流量係数(Cv値)は0.20~13で、最高使用圧力は24.1 MPaです。

ダイヤフラム・バルブは、システムの流れを効果的に締め切り、長期にわたるサイクル・ライフを実現します。スウェージロックは、原子層蒸着(ALD)用バルブ、大流量用スプリングレス・バルブ、高性能バルブ、集積化ガス・システム、サーマル・イマージョン・バルブ、超高純度用フルオロポリマー・バルブなどのダイヤフラム・バルブを取り揃えています。アクチュエーター・タイプは、手動式や空気作動式、ロッキング・ハンドルなどから選ぶことができます。

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