text.skipToContent text.skipToNavigation
Vannes pour dépôt par couche atomique (ALD)

Vannes pour dépôt par couche atomique (ALD) Swagelok®

Les vannes très haute pureté pour dépôt par couche atomique (ALD) Swagelok ont une durée de vie très longue, s’actionnent très rapidement, permettent des débits élevés, peuvent être immergées à haute température et offrent une propreté extrême, autant d’éléments nécessaires pour obtenir un dosage précis et maximiser la production de puces semi-conductrices dans des applications de pointe du secteur des semi-conducteurs.

Demander des informations sur les vannes ALD

Depuis le lancement par Swagelok de la technologie des vannes ALD, nous avons travaillé en étroite collaboration avec des clients du secteur des semi-conducteurs – fabricants de puces et fabricants d’outillage – pour créer des vannes ALD sophistiquées offrant les niveaux extrêmes de précision, de régularité et de propreté ainsi que la durée de vie nécessaires pour suivre le rythme rapide de l’innovation sur ce marché. Les vannes ALD Swagelok® peuvent accroître les rendements de la production de puces semi-conductrices et surmonter les difficultés souvent associées au procédé de dépôt par couche atomique.

Les caractéristiques de nos vannes ALD très haute pureté sont les suivantes :

  • Durée de vie très longue et actionnement ultra-rapide
  • Cv de 0,27 à 1,7
  • Utilisation à des températures allant jusqu’à 200°C (392°F) pour certains modèles
  • Dispositif électronique ou optique de détection de la position de l’actionneur proposé en option
  • Propreté adaptée aux applications de très haute pureté
  • Montage modulaire en surface, tube à souder bout à bout et raccords VCR®

Découvrir les problèmes résolus par les vannes ALD

Atomic Layer Deposition (ALD) Valves Categories

Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series

Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series

ALD3 and ALD6 diaphragm valves offer ultrahigh cycle life, high-speed actuation, and strong performance in atomic layer deposition applications.
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series

Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series

The Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve offers the precision and consistency needed to maximize chip yields in semiconductor manufacturing applications.

Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series

Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series

Advance atomic layer deposition technology with flow rates 2–3x higher than other ALD valves with the ALD20 ultrahigh-purity valve.

Catalogues des vannes pour dépôt par couche atomique (ALD)

Trouver des informations détaillées sur nos produits – matériaux de fabrication, pressions et températures nominales, options, accessoires, etc.

Assemblage en salle blanche d’une vanne ALD20 Swagelok destinée au secteur des semi-conducteurs

Une nouvelle vanne et trois raisons pour lesquelles elle pourrait révolutionner le secteur des semi-conducteurs.

Découvrez comment la dernière innovation dans le domaine des vannes pour dépôt par couche atomique (ALD) est en train de changer la donne pour les fabricants de semi-conducteurs haute technologie.

Exploiter davantage le tableau périodique

Les ressources de Swagelok sélectionnées pour vous

Les composants pour systèmes fluides Swagelok sont disponibles dans des matériaux conçus pour résister durablement aux environnements de fabrication des semi-conducteurs.
Améliorer les rendements de fabrication des semi-conducteurs avec des alliages optimisés

Découvrez comment les fabricants de semi-conducteurs peuvent améliorer leurs rendements de fabrication d’un bout à l’autre de la chaîne et accroître leur rentabilité à long terme en choisissant les bons métaux pour les composants de leurs systèmes fluides critiques.

40年近くにわたり半導体業界のサプライ・チェーンに身を置いてきたカール・ホワイト氏に、半導体業界の進歩の過去、現在、未来について話を伺います。
Q&A:半導体製造の過去・現在・将来

半導体装置メーカー、マイクロデバイス・メーカー、流体システム・ソリューションのプロバイダーが連携することで、数十年間にわたっていかにして半導体市場はムーアの法則の要求に追いつくことができたのでしょうか。これからの展望と併せて紹介します。

ローゼンダール・ネクストロム社とスウェージロックが業務効率化に向けて協業
光ファイバー装置メーカー、カスタマイズされたソリューションで効率アップを実現

ローゼンダール・ネクストロム社は、1980年代からスウェージロックのサポートを受けて、ビジネスを推進してきました。競合他社とは一線を画し、業界のトップを走り続けるローゼンダール・ネクストロム社のソリューション事例を紹介します。

希釈冷凍機メーカーのブルーフォース社は、スウェージロックの流体システム部品およびソリューションに信頼を寄せています。
最先端科学で信頼できる流体システム・ソリューション

フィンランドの希釈冷凍機メーカーであるブルーフォース社が、量子コンピューターや実験物理学などに欠かせない流体システム部品やソリューションに関して、スウェージロックに信頼を寄せている理由を紹介します。

This process may take several minutes. Please be patient and remain on the page.