Swagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ、原子層プロセス用（ALD7シリーズ）
Swagelok超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズは、新規または既存の半導体製造装置のスループットを最大化するのに必要な一貫した流量、開閉スピード、使用温度範囲、クレンリネス（清浄度）を備えています。
ALD7シリーズ・バルブについて問い合わせるConçue pour le procédé de dépôt par couche atomique (ALD), la vanne à membrane très haute pureté ALD7 de Swagelok® permet aux fabricants d’outils destinés au secteur des semi-conducteurs et aux fabricants de puces d’augmenter le nombre de puces viables produites et d’accroître leur rentabilité grâce à son débit élevé et régulier, à son actionnement rapide et à son efficacité à haute température, autant de caractéristiques nécessaires pour dépasser les limites des procédés de fabrication actuels. En plus de sa durée de vie très longue, elle offre des performances constantes d’une vanne à l’autre, d’un dosage à l’autre et d’une chambre de réaction à l’autre.
La vanne ALD7 Swagelok :
- Permet un dosage précis sur des millions de cycles, même dans les applications les plus exigeantes et dispose d’un actionneur sophistiqué dont le temps de réponse peut descendre jusqu’à 5 ms
- Résiste aux gaz corrosifs grâce à l’acier inoxydable 316L VIM-VAR exclusif utilisé par Swagelok pour fabriquer le corps de la vanne
- Peut être chauffée jusqu’à 200°C tout en maintenant l’actionneur pneumatique en dessous de sa température maximale de fonctionnement de 150°C
- A un coefficient de débit (Cv) pouvant aller jusqu’à 0,7 [des modèles spécifiques (réglés en usine) sont également proposés avec un Cv de 0,5 à 0,7]
- Conserve le même encombrement que les vannes ALD standard Swagelok et possède un isolant thermique intégré qui permet de maximiser l’utilisation de l’espace à proximité de la chambre de réaction
Découvrir en détail les vannes ALD7
Caractéristiques techniques des vannes ALD7
| Pression de service | Du vide à 10,0 bar (145 psig) |
| Pression d’éclatement | > 220 bar (3200 psig) |
| Pression d’actionnement | 4,1 à 8,27 bar (60 à 120 psig) |
| Température nominale | Corps de vanne standard : de 0°C (32°F) à 200°C (392°F) |
| Coefficient de débit | Standard : Cv de 0,7 (réglé en usine) |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable 316L VIM-VAR |
| Matériau de la membrane | Superalliage à base de cobalt |
| Raccordements d’extrémité | Type : Raccords VCR®, tubes à souder bout à bout, joint en C haut débit pour montage modulaire en surface 1,5 po |
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ALD7シリーズ・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
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