Swagelok® ALD（原子層蒸着）用バルブ
超高純度用Swagelok ALD（原子層蒸着）用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、最先端の半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの投与を実現します。
資料を請求する高い性能を誇るSwagelok ALDバルブは、スウェージロックが長年にわたって半導体製造業界における先端技術をリードしてきた証といっても過言ではありません。ALDバルブ技術を世界に送り出してからも、スウェージロックは半導体業界のお客さまと密接に協力し、そのニーズの理解に努めてきました。そして、市場において急速に進むイノベーションに対応する上で欠かせない、非常に高いレベルの精度、一貫性、クレンリネス（清浄度）、高いサイクル・ライフを備えたALDバルブを作り上げたのです。超高純度用ALDバルブの特徴：
- サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
- 流量係数（Cv値）：0.27～1.7
- 最高200°Cまでの高温環境に対応（高温モデルのアクチュエーターの場合）
- 電子または光学ポジション・センサー・オプション
- 超高純度アプリケーションに適した316L VIM-VARステンレス鋼を標準採用したバルブ・ボディ
- 集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR®継手エンド・コネクション
Catégories
Vannes très haute pureté pour applications haut débit, série ALD20
Faites progresser la technologie du dépôt par couche atomique avec des débits 2 à 3 fois plus élevés qu’avec d’autres vannes ALD grâce à la vanne très haute pureté ALD20.
Vannes à membrane très haute pureté, séries ALD3 et ALD6
Conçues pour les applications de dépôt par couche atomique, les vannes à membrane ALD3 et ALD6 se caractérisent par une durée de vie très longue, un actionnement ultrarapide et une grande robustesse.
Vannes à membrane très haute pureté, série ALD7
La vanne à membrane très haute pureté ALD7 Swagelok® offre la précision et la régularité nécessaires pour maximiser la production de puces dans le secteur des semi-conducteurs.
ALD（原子層蒸着）用バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
スウェージロックのリソース
最適な合金で半導体製造の歩留まりを高める
今回は、重要な流体システム部品に適した金属材料を選定することで、エンドからエンドまでの製造の歩留まりを高め、長期的な収益性の向上を図る方法を紹介します。
Q&A：半導体製造の過去・現在・将来
半導体装置メーカー、マイクロデバイス・メーカー、流体システム・ソリューションのプロバイダーが連携することで、数十年間にわたっていかにして半導体市場はムーアの法則の要求に追いつくことができたのでしょうか。これからの展望と併せて紹介します。
光ファイバー装置メーカー、カスタマイズされたソリューションで効率アップを実現
ローゼンダール・ネクストロム社は、1980年代からスウェージロックのサポートを受けて、ビジネスを推進してきました。競合他社とは一線を画し、業界のトップを走り続けるローゼンダール・ネクストロム社のソリューション事例を紹介します。
最先端科学で信頼できる流体システム・ソリューション
フィンランドの希釈冷凍機メーカーであるブルーフォース社が、量子コンピューターや実験物理学などに欠かせない流体システム部品やソリューションに関して、スウェージロックに信頼を寄せている理由を紹介します。