
Высокотемпературные погружные мембранные клапаны Swagelok® (серия DH)
Высокотемпературные погружные мембранные клапаны Swagelok серии DH обеспечивают высокую скорость срабатывания и рассчитаны на оптимальную производительность для высокотемпературных процессов.
Запросить дополнительную информациюВысокотемпературные погружные мембранные клапаны Swagelok® серии DH предназначены для применения в системах, в которых клапан должен находиться полностью в высокотемпературной среде высокой степени чистоты, например в системах с атомно-слоевым осаждением и системах доставки прекурсоров. Клапаны оснащены полностью закрытым седлом из высокочистого перфторалкокси (PFA), которое обеспечивает широкий диапазон химической совместимости, а также превосходную сопротивляемость вздутию и загрязнению. Беспрепятственный путь прохождения потока в корпусе сокращает до минимума зоны скопления среды и максимально повышает пропускную способность.
Коэффициенты расхода до 0,60, различные торцевые соединения на 1/4 и 3/8 дюйма, а также модели с пневматическим и ручным приводом позволяют удовлетворить широкий спектр текущих потребностей. «Нормально закрытый» привод способен открыть или закрыть клапан менее чем за 5 мс, при этом сам клапан рассчитан на оптимальную работу при температуре 220°C (428°F).
Хотите узнать больше о высокотемпературных погружных клапанах серии DH?
Thermal-Immersion Diaphragm Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.

Calculate Flow Rate for the Right Valve Selection
Use our valve flow coefficient (Cv) calculator to chose a valve sized correctly for your needs.
Use the ToolSwagelok Resources Curated for You

How to Select the Right Valves for Your Industrial Fluid System
Learn how to apply the practical STAMPED method to select the valves most suited to your industrial fluid or sampling system design applications.

Q&A: Semiconductor Manufacturing Past, Present, and Future
Find out how collaboration between semiconductor tool OEMs, microchip manufacturers, and fluid system solutions providers has enabled the semiconductor market to keep up with the demands of Moore’s Law for decades, and where we go from here.

Improve Semiconductor Yield with Optimized Alloys
Discover how semiconductor fabricators can improve end-to-end production yields and improve long-term profitability by selecting the right metals for critical fluid system components.

One New Valve. Three Reasons It Could Change Semiconductor Manufacturing
Find out how the latest innovation in atomic layer deposition (ALD) valve technology is changing the game for high-tech semiconductor manufacturers.