text.skipToContent text.skipToNavigation
Клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования и максимального увеличения выхода годных кристаллов в современном полупроводниковом производстве.

Запросить информацию о клапанах ALD

Познакомив мир с клапанами ALD, мы продолжаем тесно сотрудничать с изготовителями полупроводников с целью дальнейшей модернизации своих устройств, которые обеспечат высочайшие уровни точности, единообразия, чистоты и длительный срок службы, необходимые для соответствия стремительным темпам внедрения инноваций в отрасли. ALD-клапаны Swagelok® повышают эффективность производства микросхем и устраняют трудности, которые часто связаны с процессами атомно-слоевого осаждения.

Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:

  • Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания
  • Cv в диапазоне от 0,27 до 1,7
  • Указанные модели обеспечивают устойчивую работу вплоть до 200°С (392°F)
  • Вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода
  • Применение в условиях сверхвысокой чистоты
  • Модульное торцевое соединение для монтажа на поверхность, торцевые соединения под приварку встык и VCR®

Каким образом клапаны ALD решают сложные проблемы

Категории клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)

UHP 다이어프램 밸브, ALD7 시리즈

UHP 다이어프램 밸브, ALD7 시리즈

Swagelok® ALD7 초고순도 다이어프램 밸브는 반도체 제조 애플리케이션에서 칩 수율을 극대화하는 데 필요한 정밀도와 일관성을 제공합니다.

Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серии ALD3 и ALD6

Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серии ALD3 и ALD6

ALD3 및 ALD6 다이어프램 밸브는 원자층 증착(ALD) 애플리케이션에서 매우 긴 수명, 고속 작동, 강력한 성능을 제공합니다.

대유량 애플리케이션용 UHP 밸브, ALD20 시리즈

대유량 애플리케이션용 UHP 밸브, ALD20 시리즈

다른 ALD 밸브보다 2~3배 높은 유량을 제공하는 ALD20 초고순도 밸브로 원자층 증착(ALD) 기술을 선도해보십시오.

ALD-Ventile—Kataloge

Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.

반도체 산업용 Swagelok ALD20 UHP 밸브의 클린룸 조립 과정

하나의 신제품 밸브: 반도체 제조 기술을 바꿀 수 있는 세 가지 이유

혁신적인 최신 원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition) 밸브 기술이 어떻게 첨단 기술 반도체 제조 시장을 변화시킬 수 있는지 소개합니다.

주기율표의 더 폭넓은 활용

고객별 맞춤 선별 Swagelok 리소스

Les composants pour systèmes fluides Swagelok sont disponibles dans des matériaux conçus pour résister durablement aux environnements de fabrication des semi-conducteurs.
Améliorer les rendements de fabrication des semi-conducteurs avec des alliages optimisés

Découvrez comment les fabricants de semi-conducteurs peuvent améliorer leurs rendements de fabrication d’un bout à l’autre de la chaîne et accroître leur rentabilité à long terme en choisissant les bons métaux pour les composants de leurs systèmes fluides critiques.

Mit fast 40 Jahren Erfahrung in der Halbleiterindustrie verfügt Carl White über eine einzigartige Perspektive auf die Entwicklungen und Fortschritte in der Branche.
Q&A: Entwicklungen und Trends in der Halbleiterherstellung

In diesem Artikel beschäftigen wir uns damit, wie die Zusammenarbeit zwischen Herstellern von Halbleiter-Fertigungsanlagen, Chipproduzenten und Fluidsystemanbietern in der Halbleiterindustrie über Jahrzehnte hinweg dazu beigetragen hat, dass das Mooresche Gesetz eingehalten werden konnte. Zudem werfen wir einen Blick in die Zukunft dieser schnelllebigen Branche.

Rosendahl Nextrom und Swagelok setzen auf Zusammenarbeit, um die betriebliche Effizienz zu maximieren
Hersteller für Glasfaserproduktionssysteme erhöht seine Effizienz durch maßgeschneiderte Lösungen für seine Kunden

Bereits seit den 1980er-Jahren setzt Rosendahl Nextrom auf die Zusammenarbeit mit Swagelok, um sich geschäftlich weiterzuentwickeln. Erfahren Sie mehr über die Lösungen, mit denen es der Firma gelungen ist, der Konkurrenz stets einen Schritt voraus zu sein und sich als Marktführer zu behaupten.

Als Hersteller von Mischungskryostaten setzt Bluefors auf Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok.
Zuverlässige Fluidsystemlösungen für die Wissenschaft

Erfahren Sie mehr darüber, warum sich das finnische Unternehmen Bluefors bei der Herstellung seiner Mischungskryostate für Anwendungen in den Bereichen Quantum-Computing und Experimentalphysik auf die Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok verlässt.

Этот процесс может занять несколько минут. Дождитесь его завершения и не покидайте страницу.