Swagelok® Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves for Atomic Layer Processing (ALD3 and ALD6 Series)
Swagelok ALD3 and ALD6 series diaphragm valves are used in semiconductor manufacturing tools to achieve the controlled dosing necessary for atomic layer deposition (ALD) processing. They offer ultrahigh cycle life, high-speed actuation, and flow coefficients up to 0.62.
Request ALD Valve InformationUltrahigh-purity Swagelok® ALD3 and Swagelok® ALD6 diaphragm valves are designed to provide semiconductor manufacturers with dependable, high-speed dosing of precursor gases used to build up microchips layer by layer in deposition chambers. These high-performance ultrahigh-purity valves feature an ultrahigh cycle life, full immersibility at elevated temperatures, and suitability for ultrahigh-purity applications.
The diaphragms used in ALD3 and ALD6 valves are composed of a cobalt-based superalloy material that provides strength and corrosion resistance. Their valve bodies are 316L VIM-VAR stainless steel, making them suitable for ultrahigh-purity applications. The valve seats are made of fluorinated high-purity PFA to enable a broad range of chemical compatibility and resistance to swelling and contamination. These valves can be set up for normally closed and normally open pneumatic actuation, and they are available in a variety of configurations to suit different installation requirements.
See How ALD Valves Improve Semiconductor Manufacturing
ALD3 and ALD6 Valve Specifications
| Working Pressure | Vacuum to 145 psig (10.0 bar) |
| Burst Pressure | >3200 psig (220 bar) |
| Actuation Pressure | 50 to 90 psig (3.5 to 6.2 bar) |
| Temperature | 32° to 392°F (0° to 200°C) |
| Flow Coefficient (Cv) | 0.27 or 0.62 |
| Body Materials | 316L VIM-VAR stainless steel |
| Diaphragm Material | Cobalt-based superalloy |
| End Connections | Type (Size): Female VCR® face seal fitting (1/4 in. to 1/2 in.), male VCR face seal fitting (1/4 in. to 1/2 in.), modular surface mount high-flow C-seal (1.125 in. to 1.5 in.) |
Have questions about ALD valves?
ALD3 and ALD6 Series Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Improve Semiconductor Yield with Optimized Alloys
Discover how semiconductor fabricators can improve end-to-end production yields and improve long-term profitability by selecting the right metals for critical fluid system components.
Learn About Material SelectionSwagelok Resources Curated for You
Une nouvelle vanne et trois raisons pour lesquelles elle pourrait révolutionner le secteur des semi-conducteurs.
Découvrez comment la dernière innovation dans le domaine des vannes pour dépôt par couche atomique (ALD) est en train de changer la donne pour les fabricants de semi-conducteurs haute technologie.
Q&R : le passé, le présent et l’avenir de la fabrication des semi-conducteurs
Découvrez comment la collaboration entre des équipementiers du secteur des semi-conducteurs, des fabricants de puces et des fournisseurs de solutions pour systèmes fluides a permis au marché de tenir le rythme imposé par la loi de Moore pendant des décennies, et ce que nous réserve l’avenir.
Un fabricant d’équipements pour le secteur des fibres optiques gagne en efficience grâce à des solutions sur mesure
Depuis les années 1980, Rosendahl Nextrom s’appuie sur Swagelok pour développer ses activités. Découvrez les solutions qui ont permis à l’entreprise de devancer ses concurrents et de rester leader dans son secteur.
Des systèmes fluides pour des applications aux confins de la science
Découvrez pourquoi Bluefors, fabricant finlandais de réfrigérateurs à dilution, fait confiance aux composants et solutions Swagelok pour les systèmes fluides de réfrigérateurs nécessaires à l’informatique quantique, à la physique expérimentale et à bien d’autres applications.