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Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD)

Swagelok® Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD)

Dank ihrer äußerst langen Lebensdauer, der sehr schnellen Auslösung, hohen Durchflussraten, der Fähigkeit zur Wärmeimmersion sowie ihrer herausragenden Sauberkeit sorgen die ultrahochreinen Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD) von Swagelok für eine präzise Dosierung und eine maximale Chipausbeute in der modernen Halbleiterfertigung.

Informationen zu ALD-Ventilen anfordern

Seit Einführung der ALD-Ventiltechnologie arbeitet Swagelok zusammen mit Kunden aus der Halbleiterfertigung an neuen Lösungen, die mit den sich rasch ändernden Prozessanforderungen auf dem Markt Schritt halten können. Die fortschrittlichen ALD-Ventile überzeugen durch ein äußerst hohes Maß an Präzision, Konsistenz und Sauberkeit sowie eine lange Lebensdauer. ALD-Ventile von Swagelok® unterstützen effiziente Prozesse bei der Chipherstellung und helfen Ihnen, die mit der Atomlagenabscheidung verbundenen Herausforderungen zu meistern.

Vorteile unserer ultrahochreinen ALD-Ventile:

  • Äußerst lange Lebensdauer mit hohen Stellgeschwindigkeiten
  • Cv-Bereich von 0,27 bis 1,7
  • Temperaturbeständig bis 200 °C (392 °F) bei bestimmten Modellen
  • Elektronische oder optische Stellungssensoren für Stellantriebe optional verfügbar
  • Für ultrahochreine Anwendungen geeignet
  • Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißfitting und VCR®-Verbindungen

Erfahren Sie mehr darüber, wie Sie Herausforderungen bei der Halbleiterherstellung mit ALD-Ventilen meistern

Categorías de Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD)

Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza, Serie ALD7

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La válvula de diafragma Swagelok® ALD7 de ultra alta pureza ofrece la precisión y consistencia necesarias para maximizar la producción de chips en las aplicaciones de fabricación de semiconductores.

Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza, Series ALD3 y ALD6

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Las válvulas de diafragma ALD3 y ALD6 ofrecen una larga vida útil, una actuación de alta velocidad y un gran rendimiento en aplicaciones de deposición de capas atómicas.
Válvulas de Ultra Alta Pureza para Aplicaciones de Alto Caudal, Serie ALD20

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Tecnología avanzada de deposición de capas atómicas con caudales 2-3 veces superiores a los de otras válvulas ALD gracias a la válvula ALD20 de ultra alta pureza.

ALD-Ventile—Kataloge

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Mit fast 40 Jahren Erfahrung in der Halbleiterindustrie verfügt Carl White über eine einzigartige Perspektive auf die Entwicklungen und Fortschritte in der Branche.
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