Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования и максимального увеличения выхода годных кристаллов в современном полупроводниковом производстве.
Запросить информацию о клапанах ALDС момента выхода клапанов ALD на рынок мы тесно сотрудничаем с OEM-изготовителями полупроводникового оборудования, развивая технологии контроля подачи и дозирования прекурсоров. Это помогает заказчикам адаптироваться к инновациям, сокращать сроки разработок и повышать выход годных кристаллов в технологических процессах. Ассортимент клапанов Swagelok® ALD обеспечивает максимальную точность, стабильность, чистоту и ресурс срабатываний, необходимые для надежной работы в сложных технологических процессах.
Качественное регулирование расхода, быстрый отклик и устойчивость к высоким температурам помогают нарастить производство микроэлектроники, сократить циклы R&D и быстрее выводить на рынок новые технологии.
Особенности клапанов Swagelok для ALD-процессов:
- Сверхвысокий ресурс работы и быстрое время отклика
- Коэффициент расхода в диапазоне от 0,27 Cv до 1,7 Сv
- Температурная стойкость до 250 °C (482 °F) для отдельных моделей
- Опция локальной настройки расхода
- Электронные или оптические датчики положения привода
- Исполнение для сверхчистых сред: корпус из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава Alloy 22
- Торцевые соединения: модульный монтаж на поверхность, сварка встык и фитинги VCR®
- Единый корпус либо блочные узлы, изготовленные по аддитивным технологиям (AM)
В какой степени правильный выбор клапана ALD помогает улучшить контроль техпроцесса
ALD-Ventile – Kategorien
Ultrahochreine Membranventile - Serien ALD3 und ALD6
Die ALD3- und ALD6-Membranventile bieten eine extrem hohe Lebensdauer, schnelle Betätigung und hohe Leistung bei der Atomlagenabscheidung.
Ultrahochreine Membranventile für Anwendungen mit hohem Durchfluss, Serie ALD20
Das fortschrittliche, ultrahochreine ALD20-Ventil bietet 2–3 mal höhere Durchflussraten als andere ALD-Ventile.
Ultrahochreine Membranventile, Serie ALD7A
Das ALD7A-Membranventil von Swagelok für ultrahochreine Anwendungen bietet präzise und konsistente Ergebnisse für eine maximale Chipausbeute in der Halbleiterfertigung.
Ultrahochreine Membranventile, Serie ALD7C
Die ultrahochreinen ALD7C-Membranventile von Swagelok bieten eine hohe Leistung, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit für hochkomplexe ALD-Anwendungen.
Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Подробные сведения о продукции: материалы изготовления, номинальные параметры давления и температуры, варианты исполнения, вспомогательные принадлежности.
Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit; Cv-Bereich von 0,27 bis 0,62; Mit Hochtemperatursteuerköpfen einsetzbar bis 200°C (392°F); Optionaler elektronischer Steuerkopf-Stellungsmelder; Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR; VCR®, Stumpfschweißenden und modulare Bauteile für Flächenbefestigung
Einsatz neuer Vorprodukte mit optimierten Ventilen
Halbleiter-Vorprodukte der nächsten Generation bringen neue Herausforderungen in der Fertigung mit sich Mit einer optimierten Systemauslegung sowie der ALD-Ventiltechnologie sind Sie perfekt aufgestellt.
Mehr erfahrenSwagelok-Ressourcen für Sie
Optimierung kritischer Anwendungen für eine höhere Rentabilität in der Halbleiterfertigung
Durch die Konzentration auf wichtige Fluidsystemanwendungen können Risiken verringert, Kosten gesteuert und die Anlagenleistung insgesamt verbessert werden.
Technisches Fachwissen vor Ort – für eine optimierte Anlagenleistung
Bei der Skalierung und Standardisierung ist die Expertise rund um Fluidsysteme ein wichtiger Hebel, um eine höhere Effizienz und Konsistenz zu erzielen.