
Swagelok®サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ(DHシリーズ)
Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは高速での開閉が可能で、高温プロセスで最適なパフォーマンスを発揮します。
詳細について問い合わせるSwagelok®サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは、原子層蒸着(ALD) やプリカーサー供給用途など、高温/高純度環境でバルブを完全に組み込む必要のあるアプリケーションに適しています。完全に組み込まれた高純度PFA製シートは幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。ボディの流路から障害物を一掃しているため、たまり部を最小限に抑え、大流量を実現しています。
流量係数(Cv値)は最大0.60、エンド・コネクション(サイズ:1/4 インチ、3/8 インチ)が豊富で、アクチュエーターは空気作動式と手動式があるなど、幅広いシステムのニーズに対応可能です。ノーマル・クローズ型のアクチュエーターは5 ms未満でバルブを開閉することができます。バルブは、220°Cで最適なパフォーマンスを発揮します。
DHシリーズ・バルブに関して質問がありますか?
サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.

関連資料/コラム記事

Как правильно подобрать ЗРА для вашей промышленной системы
Узнайте, как на практике применять метод STAMPED для подбора ЗРА, лучше всего соответствующей областям применения вашей жидкостной/газовой или пробоотборной системы.

Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство—вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.

Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.

Один новый клапан—и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.