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ダイヤフラム・バルブ

Swagelok®ダイヤフラム・バルブ

Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのシステム要件に適合します。

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Клапаны Swagelok с мембранным уплотнением выпускаются в различных материалах и конфигурациях для работы в условиях высокой и сверхвысокой чистоты. Коэффициент расхода Cv: от 0,20 до 13. Беспрепятственное прохождение потока и устойчивые к коррозии материалы служат оптимальным выбором для систем, требовательным к высокой чистоте. Предлагаются варианты исполнения с ручным, пневматическим и запорным приводом.

Клапаны Swagelok с мембранным уплотнением могут применяться в процессах ALD, системах с высоким расходом, модульных газораспределительных устройствах, термическом погружении, а также сверхчистых средах, где требуется использование компонентов из фторполимеров.

  • Беспружинные мембранные клапаны Swagelok для модульных газовых систем просты в монтаже, обеспечивают визуальную индикацию направления потока, а конструкция седла обеспечивает более высокую термостойкость
  • Мембранные клапаны Swagelok для большого объема газа обеспечивают сочетание прочности, гибкости и циклического срока службы, они могут применяться в широком ряде сверхчистых систем для отсечения, передачи газов в больших объемах и изоляции
  • Высокотемпературные погружные мембранные клапаны Swagelok могут эксплуатироваться в среде с высокой температурой и высокой степенью чистоты, что делает их отличным выбором для процессов атомно-слоевого осаждения (ALD) и подачи прекурсоров
  • Мембранные клапаны Swagelok из фторполимера сверхвысокой чистоты служат надежным решением для систем распределения химреагентов, деионизированной воды и сыпучих материалов

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