Клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для высокого расхода и атомно-слоевого осаждения (серия ALD20)
Клапаны сверхвысокой степени чистоты Swagelok ALD20 рассчитаны на интенсивный поток рабочей среды, идеально подходят для ALD процессов? требующих использования газовых прекурсоров с низким давлением паров.
Запросить информацию о клапанах ALD20La válvula de alto caudal Swagelok® ALD20 de ultra alta pureza ofrece la fiabilidad y el rendimiento esperados de las válvulas ALD Swagelok®, a la vez que permite una estabilidad de temperatura y unas posibilidades de caudal antes inalcanzables. Permite a los fabricantes experimentar con diferentes procesos y productos químicos de baja presión de vapor, a fin de conseguir la deposición uniforme de gas necesaria para desarrollar la tecnología avanzada sin cambiar significativamente el proceso.
La válvula Swagelok ALD20, puede:
- Suministrar un caudal de 1,2 Cv con el mismo tamaño (1,5 pulg.) que las válvulas ALD existentes, ofreciendo un rendimiento mejorado sin necesidad de modificar la instalación.
- Suministrar un caudal aún mayor de 1,7 Cv con una variante estándar ligeramente más grande (1,75 pulg.)—el caudal más alto disponible actualmente para una válvula de ultra alta pureza y ciclo de vida útil ultra alto
- Estar sumergida en una caja de gas desde 10°C (50°F) hasta 200°C (392°F), eliminando la necesidad de aislar el actuador durante el caldeado y mejorando la consistencia de la deposición.
- Trabajar con una mayor resistencia a la corrosión con las opciones de cuerpo de acero inoxidable 316L VIM-VAR o aleación 22
- Apoyar la operación limpia a lo largo de un ciclo de vida útil ultra-alto para mayor integridad del proceso gracias a un fuelle altamente pulido con un acabado de 5 μpulg. Ra.
- Actuar repetidamente a alta velocidad (<10 ms) para obtener un caudal preciso y constante que cumpla los requisitos de dosificación.
También hay disponibles coeficientes de caudal personalizados
Vea Cómo la Válvula ALD20 Ayuda a Superar los Obstáculos del Procesado de Semiconductores
Especificaciones de la Válvula ALD20
| Presión de Servicio | Vacío hasta 1,4 bar (20 psig) |
| Presión de Rotura | > 220 bar (3200 psig) |
| Presión de Actuación | 4,9 a 6,2 bar (70 a 90 psig) |
| Temperatura | 10 a 200°C (50 a 392°F) |
| Coeficiente de Caudal (Cv) | 1,2 (MSM) o 1,7 (modelo recto) |
| Materiales del Cuerpo | 316L VIM-VAR o Aleación 22 |
| Material del Fuelle | Aleación 22 (Acabado a 5 μpulg. Ra de rugosidad media) |
| Conexiones Finales | Tipo (Tamaño): Accesorio Swagelok VCR hembra® (1/2 pulg), accesorio VCR macho giratorio (1/2 pulg), soldadura de tubo a tope de longitud de 0,50 pulg (1/2 pulg × 0,049 pulg), montaje modular superficial de alto caudal (1,5 pulg) con junta en C. |
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Catálogos de Válvulas Series ALD20
Encuentre información detallada de producto, incluidos materiales de construcción, valores nominales de presión y temperatura, las opciones y los accesorios.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
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