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Обратный клапан

超高純度用Swagelok®超高純度用フルオロポリマー ・ポペット式逆止弁( エラストマー・ フリー)(CHPシリーズ)

超高純度用Swagelok®フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー) CHPシリーズは、低いクラッキング圧力および再シール圧力を特徴としており、接液・接ガス部コンポーネントは超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI規格F57-0301に適合しています。

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超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー) CHPシリーズは流れを最大限化し、 かつ差圧を低減するデザインを採用しています。たまり部分を排除し、熱サイクル時にも漏れのない優れたシール性能を発揮します。

  • ポペットにはOリングを使用していないため、優れた清浄度を維持します。曲線部がなだらかなため乱流を低減し、圧力損失を最小限に抑制します。
  • 突起部とみぞ部が噛み合って外部シールを形成します。熱サイクルや高圧用途においても、漏れのない優れたシール性能を発揮します。
  • スプリングには非汚染性PFA材質を使用しており、バルブはどの向きにでも取り付けることができます。確実なストッパーが圧縮によるスプリングの硬化を防止するほか、スプリング・コイル周辺の流れをスムーズにし、たまりを低減します。
  • ボディ・サイズが中(Mサイズ)の場合は、リテイナーが流れを最大限化し、かつ差圧を低減します。ボディ・サイズが小(Sサイズ)の場合は、リテイナーのオープン・ケージが確実なポペットの位置合わせと、たまり部分の排除を同時に実現します。

このバルブはどの方向にでも取り付けることができます。エンド・コレクションは、フレアー継手です。

仕様

最高使用圧力 0.55 MPa
流体温度 10~85°C
ボディ材質
小(Sサイズ) 次世代PTFE
中(Mサイズ) PFA
クラッキング圧力範囲
小(Sサイズ) 0.011 MPa未満
中(Mサイズ) 0.007 MPa未満
再シール圧力 0.004 MPaまで
流量係数(Cv値) 最大4.1
エンド・コネクション
タイプ フレアー継手
サイズ 小(Sサイズ):1/4 インチ、3/8 インチ
中(Mサイズ):1/2インチ、3/4インチ

CHPシリーズ超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー)のカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

Калькулятор коэффициента расхода (C<sub>v</sub>) Swagelok для клапанов

適切なバルブの選定がすべてを左右する

流量係数(Cv値)計算ツールを使用することで、ニーズに適したサイズのバルブを選定することができます。

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