Swagelok® Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves for Atomic Layer Processing (ALD7 Series)
The Swagelok ALD7 ultrahigh-purity valve provides the flow consistency and capacity, actuator speed, temperature rating, and cleanliness necessary to help maximize chip throughput in new or existing semiconductor manufacturing tools.
Request ALD7 Valve InformationThe Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve for atomic layer deposition (ALD) processing enables semiconductor tool manufacturers and chip fabricators to increase viable chip yields and enhances profitability by enabling the flow consistency and capacity, actuator speed, and performance at high temperatures necessary to overcome production processes limitations. It provides consistent performance from valve to valve, dose to dose, and chamber to chamber over an ultrahigh cycle life.
The Swagelok ALD7 valve:
- Delivers quick, precise dosing over the course of millions of cycles in even the most demanding applications and features enhanced actuator technology with a response time as low as 5 ms
- Is resistant to corrosive gases with a valve body comprised of proprietary ultrahigh-purity Swagelok 316L VIM-VAR stainless steel
- Can be heated up to 200°C while keeping the pneumatic actuator below maximum operating temperature of 150°C
- Delivers a flow coefficient (Cv) up to 0.7 (with optional custom (factory-set) versions available that deliver a flow coefficient of 0.5–0.7 Cv)
- Maintains the same footprint as Swagelok industry-standard ALD valves and features an integrated thermal isolator to maximize limited space near the reaction chamber
ALD7 Valve Specifications
| Working Pressure | Vacuum to 145 psig (10.0 bar) |
| Burst Pressure | >3200 psig (220 bar) |
| Actuation Pressure | 60 to 120 psig (4.1 to 8.27 bar) |
| Temperature Rating | Standard valve body from 32°F (0°C) to 392°F (200°C) |
| Flow Coefficient | Standard 0.7 Cv (factory set) |
| Body Materials | 316L VIM-VAR stainless steel |
| Diaphragm Material | Cobalt-based superalloy |
| End Connections | Type: VCR® fittings, tube butt weld, 1.5 in. modular surface-mount high flow C-seal |
Have questions about ALD valves?
ALD7 Series Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
How to Solve Top ALD and ALE Semiconductor Processing Challenges
ALD and ALE semiconductor production processes come with some inherent challenges and complexities. Learn how the right selection of process valves can help you overcome them.
Select the Right Valves for ALD ChallengesSwagelok Resources Curated for You
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Hersteller für Glasfaserproduktionssysteme erhöht seine Effizienz durch maßgeschneiderte Lösungen für seine Kunden
Bereits seit den 1980er-Jahren setzt Rosendahl Nextrom auf die Zusammenarbeit mit Swagelok, um sich geschäftlich weiterzuentwickeln. Erfahren Sie mehr über die Lösungen, mit denen es der Firma gelungen ist, der Konkurrenz stets einen Schritt voraus zu sein und sich als Marktführer zu behaupten.
Zuverlässige Fluidsystemlösungen für die Wissenschaft
Erfahren Sie mehr darüber, warum sich das finnische Unternehmen Bluefors bei der Herstellung seiner Mischungskryostate für Anwendungen in den Bereichen Quantum-Computing und Experimentalphysik auf die Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok verlässt.