Мембранные клапаны Swagelok^® сверхвысокой чистоты (серия ALD7C) для прецизионного дозирования в процессах ALD и ALE

Мембранный клапан Swagelok^® ALD7C (исполнение UHP): новейшее решение в линейке арматуры сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевой обработки. В серии ALD7C представлена полностью обслуживаемая картриджная платформа из сплава Alloy 22, что обеспечивает коррозионную стойкость, термостойкость и ремонтопригодность, необходимые для производства полупроводников.

Клапан ALD7C расширяет возможности платформы ALD7A для систем, где температура, химический состав среды или условия обслуживания предъявляют особые требования к арматуре. Конструкция из сплава Alloy 22 и полностью обслуживаемая картриджная архитектура обеспечивают стабильность дозирования, термостойкость и коррозионную стойкость, необходимые для процессов ALD/ALE. ALD-процессы отличаются высокой чувствительностью к стабильности характеристик потока в течение миллионов рабочих циклов. Для ALE-процессов критически важны минимальное время срабатывания и высокая точность циклов, особенно при малой длительности импульса. Конструкция ALD7C учитывает оба требования.

Клапан поставляется в индивидуальном исполнении, либо в сборках, изготовленных по аддитивным технологиям (3D-печать/AM). Готовое решение без необходимости узловой сборки на стороне интегратора. Разработаны для отказа от C-образных уплотнений и снижения возможных утечек.

Особенности модели ALD7C:

• Конструкционный материал Alloy 22 для высокой прочности и коррозионной стойкости при работе с агрессивными технологическими средами
Коэффициент расхода
• 0,7 C_v, сохраняющийся при повышенных температурах и в условиях глубокого вакуума; возможна настройка по индивидуальному заказу
• Корпус клапана и привод рассчитаны на непрерывную работу с погружением при температуре до 482 °F (250 °C), наивысший температурный показатель в линейке клапанов Swagelok ALD
• Время отклика привода менее 2 мс и общее время отклика клапана менее 5 мс
• Сверхвысокий ресурс и стабильная подача дозы для процессов ALD/ALE с короткими импульсами, используемых при производстве современных полупроводников
• Заводская калибровка расхода с точностью до ±1%; отклонение расхода на протяжении всего циклического ресурса не превышает 2%, обеспечивая стабильное, повторяемое дозирование для производств микросхем
• Возможность регулировки расхода непосредственно на установке до −35% от заводской настройки C_v для точной подстройки без демонтажа и отправки клапанов на завод-изготовитель
• Заменяемый картридж (мембрана + седло) дает возможность проводить техническое обслуживание прямо на оборудовании с установкой до 5 раз на один клапан, что существенно сокращает время простоя и общую стоимость владения (TCO) на протяжении жизненного цикла
• Седло из высокочистого PFA с химической совместимостью и высокой стойкостью к набуханию и загрязнению сохраняет герметичность на протяжении миллионов циклов
• Комплекты приводов также поставляются отдельно, снижая трудозатраты при техническом обслуживании
• Поставляется как в одиночном исполнении, так и сборках, изготовленных по аддитивным технологиям (AM), объединяющих несколько картриджных клапанов ALD7C в компактном цельном корпусе из сплава Alloy 22, что упрощает сопряжение и минимизирует количество возможных утечек

Технические характеристики клапана ALD7C

Напишите специалисту