Swagelok® Diaphragm-Sealed Valves
Swagelok diaphragm-sealed valves improve system efficiency while providing effective flow shutoff by minimizing entrapment areas and facilitating purging with a fully swept flow path. They have long cycle lives and are available in a variety of sizes, materials, and configurations to meet the system requirements of high-purity and ultrahigh-purity (UHP) applications.
View Diaphragm ValvesSwagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.
Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.
- Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
- Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
- Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
- Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems
Have questions about diaphragm-sealed valves?
Категории клапанов с мембранным уплотнением
Беспружинные мембранные клапаны для модульных газовых систем, 1,125 дюйма, серия DE
Надежные и современные регулирующие клапаны с беспружинной конструкцией идеально подходят для эффективной работы в модульных газовых системах.
Высокотемпературные погружные мембранные клапаны, серия DH
Для применения в высокотемпературной среде, например в системах с атомно-слоевым осаждением (ALD) и системах доставки прекурсоров используются высокотемпературные погружные мембранные клапаны.
Запасные части и вспомогательное оборудование
Подробнее о качественных компонентах для обслуживания клапанов с мембранным уплотнением, запасных частях и дополнительном оборудовании, включая ремкомплекты мембран, уплотнений, штока и приводов.
Запорные мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия DP
Подробнее о запорных мембранных клапаны сверхвысокой степени чистоты с прямой конфигурацией и ручным управлением, многоходовые и модульные для монтажа на поверхность (MSM) со встроенными приводами.
Мембранные клапаны высокой степени чистоты и высокого давления, серии DL и DS
Откройте для себя мембранные клапаны высокого давления и высокой чистоты с многократным отсечением, полностью укомплектованным наконечником штока, мягким седлом, традиционным дном и креплением на панель.
Мембранные клапаны для большого объема газа, серия LD
Предлагаются мембраны для распределения и отсечения газов в больших объемах и с высоким расходом в системах сверхвысокой степени чистоты.
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты для высокого расхода, серия DF
Увеличьте циклический срок службы с помощью беспружинных мембранных клапанов для интенсивного расхода. Отсутствие пружин и резьбы повышает необходимую чистоту, а беспрепятственная проточная часть улучшает качество продувки.
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты и высокого давления, серия DPH
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты и высокого давления выпускаются в различных размерах, материалах и конфигурациях для широкого применения.
Многоклапанные блоки
Узнайте больше о многоклапанных блоках с клапанами на мембранном уплотнении. Разработанные для надежной работы блоки обеспечивают высокую чистоту и точный контроль рабочих сред.
Фторполимерные мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия DRP
Обеспечьте оптимальную производительность и долговечность сверхчистых (UHP) химических систем за счет беспрепятственного пути прохождения потока, чтобы свести к минимуму загрязнение флюидов.
Diaphragm-Sealed Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available
Бессальниковая цельнометаллическая герметизация; Рабочее давление от вакуума до 241 бара (3500 фунтов на кв. дюйм, ман.); Температура от -73 до 121°C (от -100 до 250°F)
Применимы в сверхчистых системах; Корпус из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; Модели низкого и высокого давления; Соединения VCR®, соединения под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхности; Ручные и пневматические приводы
Характеристики: Рабочее давление до 300 фунтов на кв. дюйм, ман. (20,6 бара); отсечение, распределение больших объемов газа и изолирование; литые, кованные корпуса из нержавеющей стали, а также корпуса из прутковых заготовок; торцевые соединения от 1/4 до 1 дюйма и от 12 до 25 мм
Характеристики: Корпус из нержавеющей стали 316L VAR; рабочее давление до 300 фунтов на кв. дюйм, ман. (20,6 бара); торцевые соединения размером 1/4, 3/8 и 1/2 дюйма; 10 и 12 мм
Calculate Flow Rate for the Right Valve Selection
Use our valve flow coefficient (Cv) calculator to chose a valve sized correctly for your needs.
Use the ToolSwagelok Resources Curated for You
産業用流体システムに適したバルブを選定する方法
産業用流体システムやサンプリング・システムの設計アプリケーションに適したバルブを選定するためのSTAMPEDメソッドの適用方法を紹介します。
低排出認証付きバルブを使用して、フュージティブ・エミッション（排出物の漏れ）に伴うコストを最小限に抑える
化学／石油精製業界では、フュージティブ・エミッションに関する懸念が高まっています。低排出認証付きバルブを使用することで、施設と収益を保護することができます。今回は、低排出認証付きバルブとは何か、どのように試験を行っているか、そして低排出認証付きバルブを使用するとどのようなメリットが得られるかを紹介します。
ブロック・バルブで一般産業用流体システムを遮断する方法
一般産業用流体システムのメンテナンスを行う際は、プラントの安全を確保するため、事前にラインを遮断する必要があります。流体システム・ラインを安全に遮断できる方法のひとつは、2個のブロック・バルブを並べて取り付ける方法です。今回は、システムに最適な構成を設計する方法を紹介します。
1つの新しいバルブが半導体製造を変える3つの理由
今回は、原子層蒸着（ALD）バルブの最新テクノロジーが、ハイテク半導体メーカーにもたらす影響について紹介します。