![Клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD)](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/banners/atomic-layer-deposition-ald-valves-1400x411.jpg)
Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования в современном полупроводниковом производстве.
Запросить дополнительную информациюНаши высокоэффективные клапаны для атомно-слоевого осаждения — яркий пример того, как компания Swagelok в течение длительного времени обеспечивала ответственное техническое руководство в отрасли производства полупроводников. Познакомив мир с клапанной технологией ALD, компания Swagelok тесно сотрудничала с заказчиками из полупроводниковой отрасли, чтобы понять их потребности, а затем создать клапаны ALD, обеспечивающие высочайшие уровни точности, единообразия, чистоты и длительный срок службы, необходимые для соответствия стремительным темпам внедрения инноваций в отрасли. Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:
- сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания;
- коэффициенты расхода от 0,27 до 1,7;
- работу с полным погружением при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами;
- пригодность для применения в сверхчистых системах со стандартными корпусами клапанов из нержавеющей стали 316L VIM-VAR;
- модульные соединения для монтажа на поверхность, соединения под приварку встык и торцевые соединения Swagelok VCR®;
- вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода.
Categories
![Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/grid/ultrahigh-puritydiaphragm-valves-ald3and-ald6-series-400x400.jpg?impolicy=product)
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series
ALD3 and ALD6 diaphragm valves offer ultrahigh cycle life, high-speed actuation, and strong performance in atomic layer deposition applications.![Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/grid/ultrahigh-purity-diaphragm-valves-ald7-series-400x400.jpg?impolicy=product)
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series
The Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve offers the precision and consistency needed to maximize chip yields in semiconductor manufacturing applications.
![Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/grid/ultrahigh-purity-valvesfor-high-flow-applications-ald20series-400x400.jpg?impolicy=product)
Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series
Advance atomic layer deposition technology with flow rates 2–3x higher than other ALD valves with the ALD20 ultrahigh-purity valve.
Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Получите подробную информацию о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
![Сборка клапана Swagelok ALD20 сверхвысокой степени чистоты в чистом помещении для применения в полупроводниковой отрасли](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-resources/ald-cleanroom-1400x610.jpg)
Один новый клапан — и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии производства клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD) меняют условия игры в сфере высокотехнологичного производства полупроводников.
Узнайте больше о периодической таблицеРесурсы Swagelok специально для вас
![Компоненты жидкостных и газовых систем Swagelok изготавливаются из материалов, предназначенных для длительной эффективной работы в условиях производства полупроводников.](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-cms-blocks/semiconductor-cleanroom-260x154.jpg)
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
![Карл Уайт, обладающий почти 40-летним опытом работы на различных предприятиях, относящихся к цепи поставок в сфере производства полупроводников, рассказывает о прошлом, настоящем и будущем этой отрасли.](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-cms-blocks/semiconductor-carl-white-260x154.jpg)
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
![Сотрудничество компаний Rosendahl Nextrom и Swagelok для повышения эффективности работы](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-cms-blocks/rosendahl-260x154.jpg)
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью специализированных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании обойти конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
![Компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем.](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-cms-blocks/bluefors-260x154.jpg)
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей
Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.