Swagelok® 원자층 증착(ALD) 밸브
Swagelok 초고순도 원자층 증착(ALD) 밸브는 첨단 반도체 제조 애플리케이션에서 정밀한 투입량을 보장하고 칩 수율을 극대화하는 데 필요한 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 유량, 고온 봉입성(thermal immersibility), 극한의 청정도를 제공합니다.
ALD 밸브 정보 요청Swagelok은 세계에 ALD 밸브를 선보인 이래로, 반도체 도구 장비사 및 제조업체와 면밀한 협력을 통해 시장의 빠른 혁신 속도에 대응하는 데 필요한 극한 수준의 정밀도, 일관성, 청정도, 높은 사이클 수명을 제공하는 첨단 ALD 밸브 기술을 공급하고 있습니다. Swagelok® ALD 밸브는 높은 칩 생산 효율을 지원하며, 일반적으로 ALD 공정과 관련된 문제를 극복할 수 있습니다.
Swagelok ALD 초고순도 밸브의 특징:
- 고속 작동과 극도로 높은 사이클 수명
- 0.27~1.7의 Cv 범위
- 특정 모델의 경우 최고 200°C(392°F)의 온도 지원
- 전자식 또는 광학식 액추에이터 위치 감지 옵션
- 초고순도 애플리케이션에 적합한 청정도
- 모듈 조립형, 튜브 맞대기 용접, VCR® 연결구
Atomic Layer Deposition (ALD) Valves Categories
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series
ALD3 and ALD6 diaphragm valves offer ultrahigh cycle life, high-speed actuation, and strong performance in atomic layer deposition applications.
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series
The Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve offers the precision and consistency needed to maximize chip yields in semiconductor manufacturing applications.
Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series
Advance atomic layer deposition technology with flow rates 2–3x higher than other ALD valves with the ALD20 ultrahigh-purity valve.
원자층 증착(ALD) 밸브 카탈로그
구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
하나의 신제품 밸브: 반도체 제조 기술을 바꿀 수 있는 세 가지 이유
혁신적인 최신 원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition) 밸브 기술이 어떻게 첨단 기술 반도체 제조 시장을 변화시킬 수 있는지 소개합니다.
주기율표의 더 폭넓은 활용Swagelok-Ressourcen für Sie zusammengestellt
Verbessern Sie Ihre Halbleiterproduktion durch den Einsatz optimierter Legierungen
Erfahren Sie, wie Halbleiterhersteller ihre Produktionsausbeute und Profitabilität durch Auswahl der passenden Werkstoffe für wichtige Fluidsystemkomponenten langfristig optimieren.
Q&A: Entwicklungen und Trends in der Halbleiterherstellung
In diesem Artikel beschäftigen wir uns damit, wie die Zusammenarbeit zwischen Herstellern von Halbleiter-Fertigungsanlagen, Chipproduzenten und Fluidsystemanbietern in der Halbleiterindustrie über Jahrzehnte hinweg dazu beigetragen hat, dass das Mooresche Gesetz eingehalten werden konnte. Zudem werfen wir einen Blick in die Zukunft dieser schnelllebigen Branche.
Hersteller für Glasfaserproduktionssysteme erhöht seine Effizienz durch maßgeschneiderte Lösungen für seine Kunden
Bereits seit den 1980er-Jahren setzt Rosendahl Nextrom auf die Zusammenarbeit mit Swagelok, um sich geschäftlich weiterzuentwickeln. Erfahren Sie mehr über die Lösungen, mit denen es der Firma gelungen ist, der Konkurrenz stets einen Schritt voraus zu sein und sich als Marktführer zu behaupten.
Zuverlässige Fluidsystemlösungen für die Wissenschaft
Erfahren Sie mehr darüber, warum sich das finnische Unternehmen Bluefors bei der Herstellung seiner Mischungskryostate für Anwendungen in den Bereichen Quantum-Computing und Experimentalphysik auf die Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok verlässt.