Swagelok® 원자층 가공용 초고순도 다이어프램 밸브(ALD7 시리즈)
Swagelok ALD7 초고순도 밸브는 신규 또는 기존 반도체 제조 장비의 칩 생산량을 극대화하는 데 필요한 유량 일관성과 용량, 액추에이터 속도, 온도 등급, 청정도를 제공합니다.
ALD7 밸브 정보 요청The Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve for atomic layer deposition (ALD) processing enables semiconductor tool manufacturers and chip fabricators to increase viable chip yields and enhances profitability by enabling the flow consistency and capacity, actuator speed, and performance at high temperatures necessary to overcome production processes limitations. It provides consistent performance from valve to valve, dose to dose, and chamber to chamber over an ultrahigh cycle life.
The Swagelok ALD7 valve:
- Delivers quick, precise dosing over the course of millions of cycles in even the most demanding applications and features enhanced actuator technology with a response time as low as 5 ms
- Is resistant to corrosive gases with a valve body comprised of proprietary ultrahigh-purity Swagelok 316L VIM-VAR stainless steel
- Can be heated up to 200°C while keeping the pneumatic actuator below maximum operating temperature of 150°C
- Delivers a flow coefficient (Cv) up to 0.7 (with optional custom (factory-set) versions available that deliver a flow coefficient of 0.5–0.7 Cv)
- Maintains the same footprint as Swagelok industry-standard ALD valves and features an integrated thermal isolator to maximize limited space near the reaction chamber
ALD7 Valve Specifications
| Working Pressure | Vacuum to 145 psig (10.0 bar) |
| Burst Pressure | >3200 psig (220 bar) |
| Actuation Pressure | 60 to 120 psig (4.1 to 8.27 bar) |
| Temperature Rating | Standard valve body from 32°F (0°C) to 392°F (200°C) |
| Flow Coefficient | Standard 0.7 Cv (factory set) |
| Body Materials | 316L VIM-VAR stainless steel |
| Diaphragm Material | Cobalt-based superalloy |
| End Connections | Type: VCR® fittings, tube butt weld, 1.5 in. modular surface-mount high flow C-seal |
Have questions about ALD valves?
ALD7 시리즈 밸브 카탈로그
구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
ALD 및 ALE 반도체 가공과 관련된 최우선 과제를 해결하는 방법
ALD 및 ALE 반도체 생산 공정에는 몇 가지 본질적인 과제와 복잡성이 따릅니다. 적절한 프로세스 밸브 선택을 통해 이를 극복하는 방법을 알아보십시오.
ALD 문제 해결에 적합한 밸브 선택Ресурсы Swagelok специально для вас
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство—вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
첨단 과학 분야에 필요한 신뢰성 높은 유체 시스템 솔루션
핀란드의 희석 냉동기 제조업체인 블루포스(Bluefors)가 양자 컴퓨팅과 실험물리학 등을 구현하는 데 Swagelok의 유체 시스템 부품과 솔루션을 신뢰하는 이유를 소개합니다.