Swagelok® Ultrahigh-Purity Fluoropolymer Diaphragm Valves (DRP Series)
Swagelok DRP series ultrahigh-purity (UHP) fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, deionized (DI) water, and bulk chemical delivery systems.
Request Additional DetailsSwagelok® DRP series valves are designed with modified PTFE wetted parts for superior chemical resistance. A patented fluid flow path reduces fluid entrapment, allowing for quick purging of process fluids and minimizing the risk of contamination. The design also limits fluid shear, preventing slurry agglomeration and improving process efficiency.
The modified PTFE diaphragm is optimized for durability and long cycle life, with a patented shape that reduces stress during operation. A reinforced diaphragm rim seals the valve cavity, preventing process fluid contamination and reducing seat strain.
DRP series diaphragm valves are available with either pneumatic or manual actuation and adjustable flow and bypass options for precise control. They meet SEMI Standard F57-0301, making them perfect for ultrahigh-purity (UHP) applications like chemical mechanical planarization (CMP) slurry systems, DI water systems, and bulk chemical delivery systems.
Specifications
| Pressure Rating | Up to 100 psig (6.8 bar) |
| Media Temperature | 73° to 212°F (23° to 100°C) |
| Flow Coefficient | Up to 10.2 |
| Body, Diaphragm Material | Modified PTFE |
| End Connections | Type: Fine thread flare and Nippon Pillar Super 300® standard Size: 1/4 to 1 1/4 in. and 6 to 25 mm Configuration: two- and three-way manual and pneumatic shutoff; adjustable flow and bypass models |
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UHP Fluoropolymer Diaphragm Valves Catalogs
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■ 空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4 回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー）／■ 接液・接ガス部の材質：次世代PTFE／アクチュエーターの材質：ポリプロピレン／■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合／■ 標準のエンド・コネクション：フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング／Flowell（フロウエル）、スペース・セーバーなど／その他のエンド・コネクションもございます／■ カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます
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