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UHP 다이어프램 밸브, ALD3 및 ALD6 시리즈
Swagelok ALD3 및 ALD6 시리즈 다이어프램 밸브는 반도체 제조 장비에 사용되어 원자층 증착(ALD) 가공에 필요한 투입량 제어 기능을 제공합니다. 이 제품은 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 최고 0.62의 유량 계수를 제공합니다. 초고순도 Swagelok ® ALD3 및 Swagelok ® ALD6 다이어프램 밸브는 반도체 제조업체 에 증착 챔버에서 적층(LBL, layer by layer)으로 마이크로칩을 만드는 데 사용되는 프리커서 가스의 신뢰성 높은 고속 투입 기능을 제공하도록 설계되었습니다....
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원자층 증착(ALD)용 밸브
Swagelok 초고순도 원자층 증착(ALD) 밸브는 첨단 반도체 제조 애플리케이션에서 정밀한 투입량을 보장하고 칩 수율을 극대화하는 데 필요한 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 유량, 고온 봉입성(thermal immersibility), 극한의 청정도를 제공합니다. Swagelok은 세계에 ALD 밸브 를 선보인 이래로, 반도체 도구 장비사 및 제조업체와 면밀한 협력을 통해 시장의 빠른 혁신 속도에 대응하는 데 필요한 극한 수준의 정밀도, 일관성, 청정도, 높은 사이클 수명을 제공하는 첨단 ALD 밸브 기술을 공급하고 있습...
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암모니아샘플러
Swagelok 암모니아 샘플러를 사용하면 액체 및 기화 암모니아에 대한 작업자의 노출을 최소화하여 더 안전하게 무수 암모니아 샘플링을 실행할 수 있습니다. 또한 이를 통해 샘플링 프로세스를 대폭 가속하여 샘플링 작업에 일관성을 도입하고, 시설 내에서 암모니아 샘플을 운반할 필요성도 없앨 수 있습니다. 무수 암모니아는 비료, 플라스틱, 섬유, 석유 등을 생산하는 데 사용됩니다. 저장 탱크 내의 암모니아 응력 부식 균열과 제품 품질 문제를 방지하려면, 제품을 정기적으로 샘플링하여 수분 함량이 0.2%~0.5% 사이인지 확인해야 합니다...
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분석 계장
Swagelok은 공정 유체 분석 분야의 폭넓은 전문 지식을 활용하여 광범위한 맞춤형 사전 설계 서브시스템, 유체 시스템 어셈블리 및 부품을 공급합니다. Swagelok은 다양한 유체 시스템 애플리케이션을 지원할 수 있도록 설계, 문제 해결, 교육 서비스를 제공합니다. 한정 평생 품질 보증이 적용되는 Swagelok의 사전 설계 서브시스템은 일관성과 손쉬운 설치를 보장하여 다양한 시설에서 유체 샘플링 및 제어를 간소화합니다. 애플리케이션 엔지니어는 고품질 Swagelok 부품을 사용하여 유체 시스템 솔루션을 설계하고 구축합니다. 이...
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플랜지 어댑터
플랜지를 Swagelok ® 튜브 피팅 어댑터로 연결하면 플랜지가 있는 배관 시스템을 나사 및 용접 없이 튜빙 시스템으로 변환할 수 있으므로, 계장 라인과 같은 애플리케이션에서 잠재적인 누설 지점이 감소됩니다. Swagelok 플랜지 어댑터는 플랜지로 연결된 배관 시스템에서 튜빙 시스템으로 나사산, 용접 없는 변환을 지원합니다. 이 제품은 피팅 변환 지점에서 최적의 재질 강도를 보장하고 누설 가능성을 최소화할 수 있도록 원피스(One-Piece) 일체형 단조물에서 기계 가공됩니다. Swagelok 플랜지 어댑터는 폭넓은 애플...
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플렉시블 메탈 호스, FJ 시리즈
FJ 시리즈 플렉시블 메탈 호스는 투과가 바람직하지 않은 고온, 진공 또는 범용 애플리케이션에서 투과를 줄여줍니다. FJ 시리즈 호스는 범용 주름관 316L 스테인리스강 코어 편조 호스이며, 호스 압력 밀폐를 촉진하는 단일 편조 304 스테인리스강 외부층이 있고 더 뛰어난 내식성을 제공하는 316L 스테인리스강 편조 옵션도 선택할 수 있습니다. 주름관 코어는 유연성을 제공하며 꺾임을 제한합니다. 투과에 대해 더 자세히 알아보려면 이 비디오를 보십시오 1/4~2인치의 크기 범위, 진공~1600 psig(110 bar)의 사용 압력, ...
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플렉시블 튜빙
Swagelok 플렉시블 튜빙은 고온 또는 저압 유체가 사용되는 투명성, 화학적 호환성 및/또는 탄력성이 필요한 애플리케이션에서 안전하고 신뢰성 높은 유체 이송을 지원합니다. 내화학성 PFA 플렉시블 튜빙은 저압 애플리케이션(최대 275 psig(18.9 bar))에서 Swagelok PFA 튜브 피팅 및 Swagelok 메탈 튜브 피팅과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 이 튜빙은 반투명이므로 시스템 유체를 볼 수 있으며, 매끄러운 내부 벽은 유량 제어 기능과 배출성을 제공합니다. 부드럽고 유연하며 투명한 Swagelok LT 시리...
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유량 센서
작동 신뢰성이 높은 Swagelok ® FV4 시리즈 유량 센서로 정밀한 가스 유량 측정값을 얻을 수 있습니다. Swagelok ® FV4 시리즈 유량 센서를 사용하면 가스 시스템의 유량 변화를 정밀하게 모니터링할 수 있습니다. 이 센서에는 스냅액션 플로트(float) 메커니즘과 함께 플로트 가이드 내에서 수직으로 이동하는 캘리브레이션된 오리피스가 적용되어 있으므로, 유량이 변화함에 따라 정확한 가스 유량 감지에 필요한 정밀 작동을 제공합니다. 오리피스 위 플로트에 내장된 자석이 리드(reed) 스위치 근처에 있는 리...
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가스 실린더 전환 레귤레이터
KCM 시리즈 레귤레이터는 기체 소스를 자동 전환하여 연속적인 유동을 보장하고 가동 중단을 줄입니다. Swagelok KCM 시리즈 가스 실린더 전환 레귤레이터는 두 가스 소스 사이에서 자동으로 전환하며 핵심 산업 애플리케이션에서 지속적인 가스 유동을 유지함으로써, 가동 중단과 인건비를 줄여줍니다. 감독 필요성을 줄이면서 신뢰성 높은 가스 분배를 보장하는 KCM 시리즈 전환 레귤레이터는 최소한의 유지보수를 요구하도록 설계되었습니다. KCM 시리즈 레귤레이터 내의 비천공 주름관 다이어프램은 내구성과 향상된 압력 응답을 제공합니다. 사...
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대용량 페럴 장착기, HVSU 시리즈
Swagelok ® 대용량 페럴 장착기(HVSU)를 사용하면 Swagelok 너트 및 페럴을 스테인리스강 튜빙에 손쉽게 사전 장착하여 신뢰성 높은 튜빙 연결구를 만들 수 있습니다. Swagelok ® 대용량 페럴 장착기(HVSU)는 Swagelok 너트 및 페럴을 스테인리스강 튜빙에 효율적이며 신뢰성 높게 장착할 수 있도록 설계되었습니다. 이 공압식 가동, 전자식 제어 장치는 첨단 센서를 사용하여 프로세스를 개시 및 중단하므로 대용량 애플리케이션에서도 일관적이고 정밀한 페럴 장착 결과를 보장합니다. 긴 사이클 수명과 ...
