Swagelok^® Thermal Loop Management Program for Semiconductor Fabrication

半導体ウェハ製造サーマル・ループ・システム

半導体ウェハ製造において最適な歩留まりを達成するには、チラーや熱交換器の効率的なオペレーションが求められます。それには信頼性の高いチラー・ホースをはじめとする漏れの無い部品が欠かせません。このような部品を適切に取り付け、レイアウトし、断熱することで、プロセスの一貫性、再現性、クレンリネス（清浄度）を維持しつつ、結露などの問題が生じないオペレーション環境を実現することができます。

そこでスウェージロックは、結露の防止およびオペレーション・コストの削減を目的として、サーマル・ループ管理プログラムを開発しました。本プログラムでは、半導体ウェハ製造プロセスの要件に関して数十年にわたり培ってきた経験や技術的な専門知識を活かし、半導体オペレーションの生産性を最大限に高めるためのリソースを包括的に提供しています。

サーマル・ループ管理プログラムの利点

世界各地の スウェージロック指定販売会社 には、数百名ものフィールド・エンジニアが在籍しています。半導体ウェハ製造におけるサーマル・ループのパフォーマンスの最適化に必要なサポートをご希望なら、お気軽にお問い合わせください。スウェージロックのフィールド・エンジニアは、専門的なガイダンス、現地サポート、プレハブ式のシステム・アセンブリー（Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き）など、半導体製造のニーズに対応する包括的なソリューション を提供します。

スウェージロックのサーマル・ループ管理プログラムの詳細や、プログラムを活用する利点につきましては、最寄りのスウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。

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