サーマル・ループ 管理プログラム（半導体ファブ向け）
スウェージロックのサーマル・ループ管理プログラム*は、半導体メーカーによる漏れの無い適切な断熱システムのオペレーションをサポートし、デバイスの歩留まりの最大化を実現することを目的としています。* サーマル・ループ管理とは、プロセスとチラー間の循環配管にて熱を効率的に管理し、適切な温度範囲での運用を行う手法を指します。
詳細について問い合わせる半導体ウェハ製造サーマル・ループ・システム
半導体ウェハ製造において最適な歩留まりを達成するには、チラーや熱交換器の効率的なオペレーションが求められます。それには信頼性の高いチラー・ホースをはじめとする漏れの無い部品が欠かせません。このような部品を適切に取り付け、レイアウトし、断熱することで、プロセスの一貫性、再現性、クレンリネス（清浄度）を維持しつつ、結露などの問題が生じないオペレーション環境を実現することができます。
そこでスウェージロックは、結露の防止およびオペレーション・コストの削減を目的として、サーマル・ループ管理プログラムを開発しました。本プログラムでは、半導体ウェハ製造プロセスの要件に関して数十年にわたり培ってきた経験や技術的な専門知識を活かし、半導体オペレーションの生産性を最大限に高めるためのリソースを包括的に提供しています。
サーマル・ループ管理プログラムの利点
- プロセス中断の原因となる結露を防止することで、ダウンタイム（停止時間）を短縮
- プロセス・ループ全体で効率的に流体を移送し、温度の変動を最小限に抑えることで、半導体デバイスの歩留まり向上を実現
- チラーのパフォーマンス向上により、効率アップおよびエネルギー・コスト削減を実現
- ベンダーを統一してプロセスの合理化を図ることで、設備投資およびオペレーション・コストを削減
世界各地の スウェージロック指定販売会社 には、数百名ものフィールド・エンジニアが在籍しています。半導体ウェハ製造におけるサーマル・ループのパフォーマンスの最適化に必要なサポートをご希望なら、お気軽にお問い合わせください。スウェージロックのフィールド・エンジニアは、専門的なガイダンス、現地サポート、プレハブ式のシステム・アセンブリー（Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き）など、半導体製造のニーズに対応する包括的なソリューション を提供します。
スウェージロックのサーマル・ループ管理プログラムの詳細や、プログラムを活用する利点につきましては、最寄りのスウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。
ホース／フレキシブル・チューブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Swagelok® предлагает шланги и трубки нестандартной длины, диаметром 2 дюйма и меньше, с разными типами торцевых соединений и материалов изготовления, схемами армирования, подходящих для эксплуатации в широком диапазоне рабочих параметров среды.
関連資料／コラム記事
適切なホースのエンド・コネクションを選定するには
半導体業界で使用されているチューブ／フレキシブル・ホース用のエンド・コネクション・タイプ、そして実際のアプリケーションに最適な製品を評価／選定する方法を紹介します。
Swagelok® 真空断熱メタル・ホース（FVシリーズ）
真空断熱メタル・ホース FVシリーズは、幅広い流体温度に対して優れた断熱性を発揮します。
一般産業用ホースのメンテナンス計画を策定してプラントのコストを大幅に削減する
一般産業用ホースの適切な交換時期を見極めることができれば、プラントのメンテナンス費用を大幅に削減することができます。今回は、システムの評価とメンテナンス計画の策定を通じて、ホースの交換サイクルを管理する方法を紹介します。
現場でのフィールド・エンジニアリング・サポートのメリット；半導体デバイス製造向け
スウェージロックによる現場でのフィールド・エンジニアリング・サービスが、既存または新規の半導体デバイス製造ファブのオペレーションにもたらすメリットを紹介します。